[發(fā)明專利]一種AlZnO紫外光電陰極材料及紫外真空像增強器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110408087.2 | 申請日： | 2011-12-09 |
| 公開（公告）號： | CN102403048A | 公開（公告）日： | 2012-04-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鄧宏;韋敏;鄧雪然 | 申請（專利權(quán)）人： | 電子科技大學(xué) |
| 主分類號： | H01B1/20 | 分類號： | H01B1/20;H01B1/22;H01J31/50;H01J29/04 |
| 代理公司： | 電子科技大學(xué)專利中心 51203 | 代理人： | 葛啟函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 alzno 紫外 光電 陰極 材料 真空 增強 | ||
1.一種AlZnO紫外光電陰極材料，包括透紫襯底基片、沉積于透紫襯底基片表面的透明氧化物底電極和沉積于透明氧化物底電極表面的AlZnO合金薄膜；所述透明氧化物底電極為AlyZn1-yO1+0.5y薄膜，其中y≤0.02；所述AlZnO合金薄膜的化學(xué)式為AlxZn1-xO1+0.5x，其中0.2≤x≤0.7。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AlZnO紫外光電陰極材料，其特征在于，所述AlZnO合金薄膜的化學(xué)式AlxZn1-xO1+0.5x中，0.3≤x≤0.7。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的AlZnO紫外光電陰極材料，其特征在于，所述透紫襯底基片為藍寶石基片或石英基片。
4.一種紫外真空像增強器，包括真空封裝的AlZnO紫外光電陰極和陽極；所述AlZnO紫外光電陰極包括透紫襯底基片、沉積于透紫襯底基片表面的透明氧化物底電極和沉積于透明氧化物底電極表面的AlZnO合金薄膜；所述透明氧化物底電極為AlyZn1-yO1+0.5y薄膜，其中y≤0.02；所述AlZnO合金薄膜的化學(xué)式為AlxZn1-xO1+0.5x，其中0.2≤x≤0.7。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的紫外真空像增強器，其特征在于，所述AlZnO合金薄膜的化學(xué)式AlxZn1-xO1+0.5x中，0.3≤x≤0.7。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的紫外真空像增強器，其特征在于，所述透紫襯底基片為藍寶石基片或石英基片。
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