[發(fā)明專利]基板輸送系統

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110407931.X
• 申請日: 2007-09-19
• 公開（公告）號: CN102491090A
• 公開（公告）日: 2012-06-13
• 發(fā)明（設計）人: 蒲生徹;堀健彥
• 申請（專利權）人: 平田機工株式會社
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;H01L21/677
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 付建軍

1.一種基板輸送系統，在收納基板的收納盒和處理所述基板的處理裝置之間輸送基板，其特征在于，具備：

第一傳送機，該第一傳送機配置在所述收納盒側，具有能夠在與所述基板的輸送方向正交的方向排列放置多張基板的寬度，能夠在所述輸送方向同時輸送所述多張基板，

第二傳送機，該第二傳送機在所述處理裝置側與所述第一傳送機連續(xù)配置，具有能夠在與所述輸送方向正交的方向上排列放置所述多張基板的寬度，能夠在所述輸送方向將所述多張基板單獨地輸送，

移動單元，該移動單元具有放置所述第二傳送機上的所述基板的放置部，在所述第二傳送機上在與所述輸送方向正交的方向移動所述基板，

升降單元，該升降單元使所述放置部和所述第二傳送機相對地升降，和

檢測所述第二傳送機上的所述基板的尺寸的傳感器。

2.如權利要求1所述的基板輸送系統，其特征在于，所述移動單元根據所述傳感器所檢測到的所述基板的尺寸，在與所述輸送方向正交的方向上移動所述基板。

3.如權利要求1或2所述的基板輸送系統，其特征在于，還具備：

第三傳送機，該第三傳送機與所述第一傳送機連續(xù)且配置在所述收納盒的下部，放置被收納于所述收納盒的所述基板并在所述輸送方向進行輸送，

升降裝置，該升降裝置使所述收納盒和所述第三傳送機相對地升降；

所述收納盒在上下方向具有多個收納所述基板的狹槽，

各狹槽能夠在與所述輸送方向正交的方向收納所述多張基板，

所述第三傳送機具有能夠在與所述輸送方向正交的方向排列放置所述多張基板的寬度，在所述輸送方向同時輸送所述多張基板。

4.如權利要求1或2所述的基板輸送系統，其特征在于，所述第二傳送機具備根據所述基板的尺寸有選擇地被驅動的多個傳送機單元。

5.如權利要求1或2所述的基板輸送系統，其特征在于，所述移動單元移動所述基板并且調整所述基板的朝向。

6.如權利要求1或2所述的基板輸送系統，其特征在于，所述第一傳送機具有能夠在所述輸送方向排列放置多張基板的長度。

7.如權利要求1或2所述的基板輸送系統，其特征在于，所述第一及第二傳送機由多個輥式傳送機單元構成。

8.如權利要求3所述的基板輸送系統，其特征在于，所述第三傳送機由多個輥式傳送機單元構成。

9.如權利要求1或2所述的基板輸送系統，其特征在于，所述收納盒和所述處理裝置在所述輸送方向離開地配置。

10.如權利要求2所述的基板輸送系統，其特征在于，所述移動單元使從所述處理裝置被一張一張地搬出到所述第二傳送機上的所述基板依次在與所述輸送方向正交的方向上移動，多張所述基板在所述第二傳送機上形成為在與所述輸送方向正交的方向上排列放置的狀態(tài)。

11.如權利要求2所述的基板輸送系統，其特征在于，所述移動單元使放置在所述第二傳送機上的所述多張基板依次移動到規(guī)定位置，所述第二傳送機將通過所述移動單元移動到所述規(guī)定位置的所述基板一張一張地依次朝向所述處理裝置輸送。