[發明專利]一種適應多管PECVD的自動上下料裝卸系統

無效

• 申請號: 201110404601.5
• 申請日: 2011-12-08
• 公開（公告）號: CN102534553A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 王迪平;易文杰;鐘新華;羅宏洋;孫雪平;胡振東
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/52
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

技術領域

本發明是一種自動上下料系統，用于多管PECVD設備中完成工藝舟的全自動裝卸，屬于光伏太陽能設備領域。

背景技術

傳統的PECVD的工藝舟上下料都由人工完成，隨著晶片尺寸的增大和工藝改進后單舟裝載晶片數量的增加，導致裝載完晶片的工藝舟的重量大幅增加，工藝舟重量的增加使PECVD的結構向高度空間發展受到阻礙，降低了凈化間單位面積內裝備的產能。另外最重要的一點是工人管理和培訓成本高，勞動強度大，工作環境惡劣，同時由于人為的因素造成硅片的污染及碎片問題也更加突出。與此相反的是采用自動上下料裝置不但能將裝備從原來的二管增加到三管、四管，甚至是五管，從而大幅提高單臺裝備的生產效率，而且可以實現裝備的自動化，降低操作員工的勞動強度及節約工廠設備的占地面積，因此是多管PECVD裝備發展的必然趨勢。

大規模工業生產的一個突出特點就是生產過程的高度自動化，多管PECVD的自動上下料系統的實現將大大的提高PECVD工序的自動化操作程度。自動上下料系統的采用將帶來工藝結果高度的重復性，避免了人工操作的隨意性對工藝產生的影響。

發明內容

針對傳統的PECVD的工藝舟上下料都由人工完成，這種方式制約了設備的空間發展，導致生產場地的利用率降低，工人管理和培訓成本高，勞動強度大，工作環境惡劣，人為的因素造成硅片的污染及碎片等缺陷，本發明旨在提供一種適應多管PECVD的自動上下料裝卸系統，該上下料裝卸系統

以滿足多管PECVD設備中工藝舟的全自動裝卸，實現太陽能電池片生產線的全自動化打下基礎。

為了實現上述目的，本發明所采用的技術方案是：

一種適應多管PECVD的自動上下料裝卸系統，包括推車，其結構特點是，還包括裝在推車上用于在豎直方向運送工藝舟的龍門升降機，裝在龍門升降機上用于在水平方向運送工藝舟的機械手，所述推車上裝有鎖緊或釋放推車的推車驅動裝置。

所述龍門升降機的結構為，包括兩根豎直裝在推車上作為滑臺的豎梁，該豎梁上裝有帶剎車裝置的驅動電機。由于豎梁由兩根可獨立運動的滑臺組成，電機驅動通過轉向器將運動平均分配到豎梁的每根軸上，實現兩豎梁的同步運動，驅動電機配有剎車裝置，能夠保證在非工作狀態下，滑塊機構自鎖，保證在掉電狀態下工藝舟的安全。

所述機械手有兩只，每根豎梁上裝有一只機械手，通過同步軸相連的兩只機械手由一個電機驅動。在水平方向設計兩個取舟機械手，分別固定在豎梁的兩個滑臺上，左右機械手采用同一個電機驅動，中間通過同步軸連接保證左右機械手動作一致。

更進一步地，所述豎梁上裝有臨時儲存工藝舟的冷卻儲存架。冷卻儲存架用來對加工完畢的熱工藝舟進行冷卻或在加工忙和出現故障時，對正在運輸中的工藝舟進行儲存。

推車驅動裝置通過汽缸作用，用于頂起和放下，鎖緊和釋放推車的作用。

籍由上述結構，適應多管PECVD設備的自動上下料系統在垂直方向采用龍門升降機構，豎梁為兩根可獨立運動的滑臺組成，電機驅動通過轉向器將運動平均分配到豎梁的每根軸上，實現兩豎梁的同步運動，驅動電機配有剎車裝置，能夠保證在非工作狀態下，滑塊機構自鎖，保證在掉電狀態下工藝舟的安全。同時在水平方向設計兩個取舟機械手，分別固定在豎梁的兩個滑臺上，左右機械手采用同一個電機驅動，中間通過同步軸連接保證左右機械手動作一致。通過獨立的控制系統聯機檢測各個工位的工作狀況，適時的進行上下、平移及冷卻儲存架放置處理，裝舟時只需人工將裝好片的工藝舟放置在推車上并選擇裝載工位，機械手將自動完成裝載至工位的全部動作；卸舟時機械手會自動將出爐的工位上的工藝舟取出并放置在冷卻平臺上，人工只需從冷卻平臺取走工藝舟即可。

全套動作由獨立監控PLC控制，各種動作通過電機與導軌配合自動完成，系統通過與管理計算機及到位傳感器進行聯鎖，保護舟及工藝片的安全。

以下對本發明作進一步的描述。

一種自動上下料系統包括：推車1，龍門升降機2，冷卻儲存架3，推車驅動裝置4，機械手5，工藝舟6。

所述的推車1：承載和運送工藝舟的小車平臺，方便操作人員進行工藝舟進出設備的操作。在PECVD工藝中用一部推車來手動將工藝舟移入設備中進行加工，以及在加工結束后將工藝舟移出設備。

所述的龍門升降機2：龍門升降機用來執行垂直方向的運動，負責工藝舟在推車，PECVD各管之間和冷卻儲存架的垂直運動。

所述的冷卻儲存架3：用來對加工完畢的熱工藝舟進行冷卻或在加工忙和出現故障時，對正在運輸中的工藝舟進行儲存。該系統配備了兩個冷卻儲存架。