[發明專利]磁性致動器

有效

• 申請號: 201110404045.1
• 申請日: 2011-12-07
• 公開（公告）號: CN102570766B
• 公開（公告）日: 2017-10-27
• 發明（設計）人: S·平特;J·穆霍;F·沙茨
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: H02K33/18
• 分類號: H02K33/18;G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.磁性致動器，具有一板(3)和一磁體弓形件，所述板繞一個第一旋轉軸線(4)可旋轉地被支承，所述磁體弓形件設置在所述板(3)下方，

其中，所述板(3)具有一主延伸平面，

其中，所述第一旋轉軸線(4)平行于所述主延伸平面，

其中，所述板(3)平行于所述主延伸平面具有至少一個導體回線(10，10a，10b)，

其中，所述磁體弓形件具有一U形的、縱向的傳導磁通的軌(1)和一硬磁體(2)，該硬磁體的磁化垂直于U形開口，

其中，所述磁體弓形件和所述板(3)相互對齊，使得所述磁體弓形件的開口指向所述板(3)的主延伸平面，

其中，所述U形的、縱向的傳導磁通的軌(1)具有一平行于所述第一旋轉軸線(4)的主延伸方向，

其中，所述板(3)通過對所述至少一個導體回線(10，10a，10b)的通電能繞所述第一旋轉軸線(4)偏轉，

其中，所述板(3)平行于所述主延伸平面具有兩個導體回線(10a，10b)，其中，所述板(3)通過所述第一旋轉軸線(4)分開地具有兩個在所述主延伸平面中的面區域，一個導體回線(10a)設置在其中一個面區域中并且另一個導體回線(10b)設置在另一個面區域中，

其中，通過使兩個導體回線在相反的方向上通電，在所述可旋轉地被支承的板(3)上能產生一繞所述第一旋轉軸線(4)的轉矩。

2.根據權利要求1所述的磁性致動器，其特征在于，所述磁體弓形件具有一硬磁體(2)，其中，在所述硬磁體(2)的敞開側上涂覆有一整面的或一結構化的磁通傳導層(23)。

3.根據以上權利要求中任一項所述的磁性致動器，其特征在于，一屏蔽裝置(230)通過一距離保持裝置(27)固定地設置成與所述磁體弓形件的開口相對，使得向著所述磁體弓形件的敞開側的漏磁場由此減小。

4.根據權利要求1或2所述的磁性致動器，其特征在于，所述板(3)借助扭轉彈簧、曲折形彈簧、彎曲彈簧或漸進式彈簧繞所述第一旋轉軸線(4)可旋轉地被支承。

5.根據權利要求1或2所述的磁性致動器，其特征在于，所述板(3)通過一中心的彈簧懸掛裝置(40)固定，該中心的彈簧懸掛裝置允許所述板(3)在至少一個方向上傾斜。

6.具有根據權利要求1至5中任一項所述的致動器的微鏡，其中，可旋轉地被支承的所述板(3)在所述主延伸平面中配設有一鏡反射表面或至少在所述板(3)的背對所述磁體弓形件的開口的側上設有一鏡元件或布設有鏡反射材料。

7.具有由至少一個根據權利要求6所述的微鏡構成的第一微鏡和一第二鏡的雙鏡系統，其中，該雙鏡系統是一2D掃描器，其中，所述第二鏡具有一垂直于所述第一微鏡的第一旋轉軸線(4)的旋轉軸線，其中，所述第二鏡設置成與所述第一微鏡相對，使得照射所述鏡的激光束能在兩個方向上偏轉。