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[發明專利]一種氟化氫HF氣體含量檢測裝置及方法有效

專利信息
申請號: 201110403672.3 申請日: 2011-12-07
公開(公告)號: CN102419330A 公開(公告)日: 2012-04-18
發明(設計)人: 姚強;何建軍;邱妮;苗玉龍;張繼菊 申請(專利權)人: 重慶市電力公司電力科學研究院
主分類號: G01N21/84 分類號: G01N21/84;G01N1/22
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 逯長明
地址: 401123 重*** 國省代碼: 重慶;85
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 氟化氫 hf 氣體 含量 檢測 裝置 方法
【權利要求書】:

1.一種氟化氫HF氣體含量檢測裝置,其特征在于,包括采樣裝置、激光發射器、激光接收器,以及中央處理系統;

其中,采樣裝置包括裝有待檢測氣體的氣室,所述待檢測氣體中包含HF氣體,以及固定于所述氣室的頂部且與所述中央處理系統相連接的溫度傳感器和壓力傳感器;

所述溫度傳感器和所述壓力傳感器分別用于采集所述氣室內的溫度和壓力,并將溫度和壓力信息反饋至所述中央處理系統,所述中央處理系統根據所述溫度和壓力信息計算出待檢測氣體的壓縮比例,并控制位于所述氣室內的活塞運動至與所述壓縮比例相對應的壓縮位置;

所述激光發射器和所述激光接收器固定于所述氣室的取樣口處,并與所述中央處理系統相連接,所述中央處理系統用于在位于所述氣室內的活塞運動至所述氣室的壓縮位置后,根據所述激光發射器通過所述取樣口向所述氣室內部發射的激光束光強,以及所述激光接收器接收的來自所述氣室內部的激光束光強,計算出所述氣室內部待檢測HF氣體的含量值。

2.如權利要求1所述的系統,其特征在于,所述采樣裝置還包括與所述活塞相連的活塞桿。

3.如權利要求1所述的裝置,其特征在于,所述采樣裝置包括位于所述氣室的進氣口處并與所述氣室相通的進氣電磁閥,以及位于所述氣室的排氣口處并與所述氣室相通的排氣電磁閥。

4.如權利要求3所述的系統,其特征在于,所述采樣裝置還包括與所述排氣電磁閥連通的單向閥以及與所述單向閥連通的排氣口。

5.如權利要求4所述的系統,其特征在于,所述進氣電磁閥與氣體絕緣開關設備GIS的出氣口相連。

6.如權利要求5所述的系統,其特征在于,所述進氣電磁閥與所述GIS的出氣口通過三通閥相連,其中,所述進氣電磁閥與所述三通閥的第一閥口相連,所述GIS的出氣口與所述三通閥的第二閥口相連,所述三通閥的第三閥口與換氣閥相連。

7.如權利要求1所述的系統,其特征在于,所述取樣口為一個,所述激光發射器與所述激光接收器固定于所述取樣口處,所述氣室內壁設置有反射部件,所述激光接收器接收通過所述反射部件反射回的激光;

或,所述取樣口為兩個,所述兩個取樣口對稱設置在所述氣室的兩個相對面上,所述激光發射器與所述激光接收器分別固定于不同的取樣口處。

8.如權利要求1或7所述的系統,其特征在于,所述激光發射器與所述激光接收器通過法蘭固定于所述氣室的取樣口處,并通過光纜與所述中央處理系統相連接。

9.如權利要求8所述的系統,其特征在于,所述中央處理系統與上位機相連,所述氟化氫HF氣體的含量值在所述上位機上顯示。

10.一種氟化氫HF氣體含量檢測方法,其特征在于,基于氟化氫HF氣體含量檢測裝置,所述氟化氫HF氣體含量檢測裝置包括采樣裝置、激光發射器、激光接收器,以及中央處理系統,其中,采樣裝置包括氣室、溫度傳感器,以及壓力傳感器;

所述方法包括:

中央處理系統接收所述溫度傳感器與所述壓力傳感器分別采集的所述氣室內的溫度和壓力信息;

根據所述溫度和壓力信息計算出所述氣室內待檢測氣體的壓縮比例;

控制位于所述氣室內的活塞運動至與所述壓縮比例相對應的壓縮位置;

在位于所述采樣裝置內的活塞運動至所述壓縮位置后,根據所述激光發射器向所述氣室內發射的激光束光強,以及所述激光接收器接收的來自所述氣室內的激光束光強,計算出所述氣室內部待檢測HF氣體的含量值。

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