[發(fā)明專利]一種類單晶太陽能電池的磷擴(kuò)散方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110403429.1
• 申請(qǐng)日: 2011-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN102403412A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王永偉;黨繼東;費(fèi)正洪;賈潔靜;徐義勝;孟祥熙;辛國軍;章靈軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;阿特斯（中國）投資有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;C30B31/06;C30B31/18
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 陶海鋒;陸金星

1.一種類單晶太陽能電池的磷擴(kuò)散方法，其特征在于，包括如下步驟：

⑴?將待處理的類單晶硅片放于擴(kuò)散爐中，升溫至800~820℃，爐內(nèi)環(huán)境為氮?dú)鈿夥眨獨(dú)饬髁?~30?L/min；

⑵?待溫度穩(wěn)定后，同時(shí)通入攜磷源氣體和干氧進(jìn)行擴(kuò)散，擴(kuò)散時(shí)間為40~60?min，所述攜磷源氣體的流量為0.8~2?L/min，干氧的流量為0.4~2.5?L/min；使類單晶硅片的多晶區(qū)域的平均方塊電阻比單晶區(qū)域的平均方塊電阻高出10?Ω／□以上；

⑶?降溫出舟，完成擴(kuò)散過程。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的類單晶太陽能電池的磷擴(kuò)散方法，其特征在于，所述步驟⑶之前還設(shè)有推進(jìn)步驟，所述推進(jìn)步驟為：停止通入攜磷源氣體源和干氧，進(jìn)行5~40?min推進(jìn)，爐內(nèi)環(huán)境為氮?dú)鈿夥眨獨(dú)饬髁?~30?L/min。