[發明專利]一種基于WO3單晶顆粒的氮氧化物傳感器元件的制備方法無效
| 申請號： | 201110402654.3 | 申請日： | 2011-12-07 |
| 公開（公告）號： | CN102495109A | 公開（公告）日： | 2012-06-13 |
| 發明（設計）人： | 秦玉香;沈萬江;胡明;李曉;王飛 | 申請（專利權）人： | 天津大學 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京市盈科律師事務所 11344 | 代理人： | 程新霞 |
| 地址： | 300072*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 wo sub 顆粒 氧化物 傳感器 元件 制備 方法 | ||
1.一種基于WO3單晶顆粒的氮氧化物傳感器元件的制備方法，具有以下步驟：
(1)將六氯化鎢溶于50毫升正丙醇或者環己醇中，所述正丙醇或者環己醇的加入量低于初始濃度的加入量，磁力攪拌1小時，形成藍色透明的六氯化鎢溶液；
(2)向步驟(1)中的六氯化鎢溶液中繼續添加正丙醇或者環己醇，調節六氯化鎢的摩爾濃度為0.003-0.014M；
(3)將步驟(2)獲得的六氯化鎢溶液轉移至100-500毫升的內襯為聚四氟乙烯的不銹鋼水熱反應釜中，密封，然后在180-200℃的溫度下溶劑熱反應6-10小時，反應釜自然冷卻；
(4)將步驟(3)中的溶劑熱產物離心分離，經去離子水和無水乙醇反復洗滌后，在60-80℃的空氣氣氛下充分干燥，制得準定向的束狀一維鎢氧化物納米線；
(5)將步驟(4)中獲得的束狀一維鎢氧化物納米線束粉末與體積比為1∶2的無水乙醇與松油醇混合，超聲混合2小時，制得納米線基敏感材料漿料。
(6)將步驟(5)中所述的納米線基敏感材料漿料涂覆在覆有叉指鉑電極的傳感器基片上，室溫下放置30分鐘，在程序燒結爐中于600-800℃空氣氣氛熱處理1.5-3小時，控制升溫速率小于2℃/min，制得WO3單晶顆粒基傳感器元件。
2.根據權利要求1所述的一種基于WO3單晶顆粒的氮氧化物傳感器元件的制備方法，其特征在于：所述步驟(4)的準定向的束狀一維鎢氧化物納米線束的直徑為60-90納米，長度為500-1000納米，構成納米束的單根納米線直徑為5-10納米。
3.根據權利要求1所述的一種基于WO3單晶顆粒的氮氧化物傳感器元件的制備方法，其特征在于：所述步驟(6)的傳感器基片上覆有的叉指鉑電極，是采用射頻磁控濺射法或蒸發法制備在潔凈的傳感器基片表面，厚度為100-150納米。
4.根據權利要求1所述的一種基于WO3單晶顆粒的氮氧化物傳感器元件的制備方法，其特征在于，所述步驟(6)的納米線基敏感材料漿料采用旋涂法、印刷法或者提拉法涂覆在覆有叉指鉑電極的傳感器基片上。
5.根據權利要求1所述的一種基于WO3單晶顆粒的氮氧化物傳感器元件的制備方法，其特征在于，所述步驟(6)的傳感器基片采用氧化鋁片或Si/SiO2片。
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