[發明專利]檢測裝置、電子設備以及機械手

有效

• 申請號: 201110402387.X
• 申請日: 2011-12-06
• 公開（公告）號: CN102539022A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 池邊朋;宇都宮純夫
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01L1/00
• 分類號: G01L1/00;G01L1/14;G01L3/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李偉;王軼

1.一種檢測裝置，其特征在于，具有：

檢測部，其具有設置在第1基板上、檢測壓力的有無的第1傳感器，和將所述壓力的大小和方向進行分離的壓力分量分離機構；以及

控制部，其基于所述第1傳感器的檢測結果對所述壓力分量分離機構的檢測動作進行控制。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其特征在于，

所述壓力分量分離機構由下述部件構成，即：多個第2傳感器，配置在所述第1基板上的基準點的周圍，對壓力的大小進行檢測；和彈性體突起，其被設置在與上述第1基板對置配置的第2基板、且其前端部抵接在俯視下與所述基準點重疊的位置。

3.根據權利要求2所述的檢測裝置，其特征在于，

在由所述第1傳感器檢測出存在壓力的情況下，根據來自所述控制部的信號，所述多個第2傳感器開始壓力值的檢測。

4.根據權利要求1至權利要求3中任意一項所述的檢測裝置，其特征在于，

所述第1傳感器在俯視下被配置于至少兩個所述壓力分量分離機構之間。

5.根據權利要求1至權利要求3中任意一項所述的檢測裝置，其特征在于，

俯視下在所述第1傳感器的周圍配置有至少兩個所述壓力分量分離機構。

6.根據權利要求2至權利要求5中任意一項所述的檢測裝置，其特征在于，

所述多個第2傳感器相對于所述基準點，被配置成點對稱。

7.根據權利要求2至權利要求6中任意一項所述的檢測裝置，其特征在于，

所述多個第2傳感器俯視下在相互正交的2個方向被配置成矩陣狀。

8.根據權利要求2至權利要求7中任意一項所述的檢測裝置，其特征在于，

所述多個第2傳感器在每個單位檢測區域中被配置成至少4行4列。

9.根據權利要求3至權利要求8中任意一項所述的檢測裝置，其特征在于，

所述第1傳感器具有對置配置在所述第1基板上的第1電極和第2電極，

所述第2傳感器具有對置配置在所述第1基板上的第3電極和第4電極，

至少在上述第3電極與上述第4電極之間配置有感壓導電體。

10.根據權利要求9所述的檢測裝置，其特征在于，

所述第1傳感器的所述第1電極的俯視面積比所述第2傳感器的所述第3電極的俯視面積大。

11.一種電子設備，其特征在于，

具有權利要求1至權利要求10中任意一項所述的檢測裝置。

12.一種機械手，其特征在于，

具有權利要求1至權利要求10中任意一項所述的檢測裝置。