[發明專利]陣列基板與具有該陣列基板的液晶面板及其制造方法

有效

• 申請號: 201110400718.6
• 申請日: 2011-12-06
• 公開（公告）號: CN103091912A
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 陳永福;吳榮彬;陳柏孝;吳健豪
• 申請（專利權）人: 瀚宇彩晶股份有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;H01L21/77
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

技術領域

本發明涉及一種陣列結構及其方法，具體而言是一種陣列基板與具有該陣列基板的液晶面板及其制造方法。

背景技術

液晶顯示器通常分為穿透式液晶顯示器、反射液晶顯示器以及半穿透/半反射液晶顯示器，穿透式液晶顯示器設有背光模塊(Backlight?Module)。背光模塊使用的發光源大致可分為冷陰極熒光燈(Cold?Cathode?Fluorescent?Lamp,?CCFL)、熱陰極熒光燈、發光二極管或其他電激發光組件(Electro?Luminescent?Device,?EL?device)。

由于面板內的液晶轉向均勻性攸關液晶顯示器的畫面顯示質量。換言之，液晶轉向一致時畫面顯示質量越佳，液晶轉向不足時其透光不足，使得畫面較暗，形成畫面亮暗不均的波紋(mura)。具體來說，液晶轉向程度與施加于像素電極(pixel?electrode)的電壓所產生的電場有關，亦即電場足夠大，液晶扭轉程度越佳；電場不足時，液晶扭轉程度越差。進一步地，電場的大小與像素電極的線寬成正比例。然而在現有技術的液晶面板制程中是進行薄膜沉積、黃光曝光、顯影以及蝕刻圖案化等步驟來形成面板內的像素電極，而且在液晶面板的外圍需要設置面積較大的電性量測的金屬結構，以作為電性量測的扎針點，所以需要以較大的光阻區域來定義所述金屬結構。

然而，由于顯影步驟使用的顯影液的流動具有方向性，面積較大的光阻會使顯影液集中流向面內某些區域的像素電極圖案，使得像素電極圖案上的光阻過度顯影或是顯影不足。當過度顯影時，在后續的蝕刻步驟會使像素電極的線寬縮小，當顯影不足時，在后續的蝕刻步驟會使像素電極的線寬變大。因而造成像素電極的線寬尺寸大小不同而產生不均勻的電場，導致液晶扭轉程度不平均，使得液晶面板的顯示質量不良。因此需要發展一種新式的緩沖結構及其方法，以解決上述之問題。

發明內容

本發明的第一目的在于提供一種陣列基板與具有陣列基板的液晶面板及其制造方法，在液晶面板的微影制程中，使顯影液在曝光圖案上均勻地流動，避免顯影液集中流向較大光阻區域，使像素電極的線寬趨于一致，解決液晶面板產生亮暗不均的波紋(mura)。

為達成上述地目的，在一實施例中，本發明提出一種陣列基板的制造方法，包括下列步驟：

形成多個掃描線、多個數據線、多個晶體管以及多個下接觸墊于一基板上，基板定義第一顯示區域、第二顯示區域以及一第一非顯示區域，掃描線、數據線、晶體管位于第一顯示區域以及第二顯示區域，晶體管分別位于數據線與掃描線的交錯處，下接觸墊位于第一非顯示區域；

形成透明導電層于基板上；

涂布光阻層于透明導電層上；

對光阻層進行曝光步驟，使第一顯示區域以及第二顯示區域分別定義第一曝光圖案與第二曝光圖案，并且使第一非顯示區域定義相對應于下接觸墊的多個第三曝光圖案；

當顯影液在光阻層上開始流動以進行顯影步驟時，第一曝光圖案的第一線寬等于或是近似第二曝光圖案的第二線寬；

當在顯影液的流動過程中，每一第三曝光圖案形成多個梳狀圖案，在一第三曝光圖案的梳狀圖案與鄰近的另一第三曝光圖案的梳狀圖案互相叉合，梳狀圖案略微阻擋一部份顯影液，使部分顯影液經由第三曝光圖案上表面與梳狀圖案上表面到達第一顯示區域的第一曝光圖案，第一曝光圖案的第一線寬變成一第三線寬，并且使另一部份顯影液直接到達第二顯示區域的第二曝光圖案，第二曝光圖案的第二線寬變成第四線寬，其中第三線寬等于或是近似第四線寬；以及，

在第一顯示區域與第二顯示區域分別形成相對應第一曝光圖案的第一像素電極與相對應第二曝光圖案的第二像素電極，并且在第一非顯示區域形成相對應第一曝光圖案的多個上接觸墊。

在另一實施例中，本發明提出一種陣列基板，適用于液晶面板，陣列基板包括：基板，具有第一顯示區域、第二顯示區域以及一第一非顯示區域；多個掃描線，設置于第一顯示區域與第二顯示區域的基板上；多個數據線，位于第一顯示區域與第二顯示區域，每一數據線與每一掃描線形成一交錯處，交錯處設有一晶體管；多個下接觸墊，設置于第一非顯示區域的基板上；保護層用以覆蓋數據線、晶體管以及下接觸墊；透明導電層設置于保護層上，具有第一像素電極、第二像素電極以及多個上接觸墊，第一像素電極與第二像素電極分別位于第一顯示區域與第二顯示區域，其中第一像素電極的寬度等于或是近似第二像素電極的寬度，上接觸墊位于第一非顯示區域且電性連接下接觸墊。