[發明專利]導體圖案形成方法

有效

• 申請號: 201110400075.5
• 申請日: 2011-12-02
• 公開（公告）號: CN102529354A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 森賢太郎;植松大輔;早川暢博
• 申請（專利權）人: 日本特殊陶業株式會社
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及形成導體圖案的方法。

背景技術

存在如日本特開2006-35820號公報所公開的如下的傳統已知的噴墨印刷處理：借助于噴墨頭將給定的墨圖案印刷在諸如印刷紙或基板等印刷對象上，具體地，通過使噴墨頭沿與印刷對象的移動方向正交的方向移動的同時使印刷對象沿一個方向移動來將給定的墨圖案印刷在諸如印刷紙或基板等印刷對象上。在該印刷處理中，無論圖案的取向如何(左右取向或前后取向)，印刷對象和噴墨頭的相對移動方向，即，印刷在印刷對象上的圖案的實際方向總是恒定的。另外，如日本特開2009-212249號公報所公開的，噴墨頭通常被構造成：在印刷處理過程中，在載置臺上的印刷對象移動的同時，對熔融的墨施加壓力脈沖，由此將微小墨滴從噴嘴(墨排出孔)排出到印刷對象上。

上述噴墨印刷處理能夠被采用為各種印刷技術，不僅包括將諸如彩色墨等普通墨印刷到普通紙張上的普通紙印刷，而且包括將導體圖案印刷到電路基板上的導體圖案印刷。

發明內容

然而，在噴墨印刷處理中，取決于印刷墨的狀態和噴墨頭的操作條件，噴墨頭的任一個或一些噴嘴可能被堵塞。當噴墨印刷處理被采用為導體圖案形成技術時，由于噴嘴堵塞，會出現導體圖案的連接可靠性的劣化或導體圖案的斷線(breakage)。

因此，本發明的目的在于提供一種導體圖案形成方法，通過該方法，能夠形成連接可靠性高的導體。本發明的目的還在于提供一種氣體傳感器制造方法，其中通過上面的導體圖案形成方法形成氣體傳感器元件的電極圖案。

根據本發明的一個方面，提供一種在基板上形成導體圖案的方法，所述導體圖案具有：引線部，其沿所述導體圖案的長度方向延伸；第一導體部，其位于所述引線部的一端；以及第二導體部，其位于所述引線部的另一端，所述方法包括：通過噴墨印刷處理印刷至少所述引線部的印刷步驟，所述噴墨印刷處理包括在從印刷頭的噴嘴排出液態墨滴的同時使所述印刷頭掃描，其中，在所述印刷步驟中，沿所述導體圖案的長度方向進行所述印刷頭的掃描；并且，所述第一導體部和所述第二導體部的在與所述導體圖案的長度方向正交的方向上的長度均大于所述墨滴的直徑。

根據本發明的另一方面，提供一種氣體傳感器制造方法，其中通過上面的導體圖案形成方法形成氣體傳感器元件的電極圖案。

從下面的說明，本發明的其他目的和特征也將變得可以理解。

附圖說明

圖1是能夠實施本發明的導體形成裝置的示意圖。

圖2是示出根據本發明的一個實施方式的導體圖案形成方法的示意圖。

圖3是示出傳統的導體圖案形成方法的示意圖。

圖4是通過圖2的導體圖案形成方法在基板上形成電極圖案的氣體傳感器的分解立體圖。

圖5是實施例和比較例中形成的導體圖案的平面圖。

具體實施方式

下面將借助于以下實施方式具體說明本發明。

本發明的以下實施方式涉及用于以如下方式在基板上形成導體圖案的導體圖案形成方法：使導體圖案具有沿導體圖案的長度方向延伸的引線部、位于引線部的一端的第一導體部和位于引線部的另一端的第二導體部。在本實施方式中，導體圖案形成方法包括通過噴墨印刷處理，即通過在從印刷頭的噴嘴排出液態墨滴的同時使印刷頭掃描來印刷至少引線部的印刷步驟，其中沿導體圖案的長度方向進行印刷頭的掃描；并且第一導體部和第二導體部的在與導體圖案的長度方向正交的方向上的長度(下文稱為“第一導體部和第二導體部各自的寬度”)均大于從印刷頭的噴嘴排出的墨滴的直徑。

至少在印刷引線部的過程中沿導體圖案的長度方向掃描印刷頭，而印刷頭的噴嘴通常沿與印刷頭的掃描方向交叉(例如，正交)的方向配置。另外，第一導體部和第二導體部均大于從印刷頭噴嘴排出的墨滴。由此，即使一個或一些印刷頭噴嘴被堵塞，也能夠利用從未堵塞的印刷頭噴嘴排出的墨滴連續地印刷引線部，使得不發生引線部的長度方向上的斷線。因此，在本實施方式中，可以確保第一導體部和第二導體部通過該連續的引線部彼此連接，并且提高基板上的導體圖案的連接可靠性。由于在本實施方式中能夠確實地減少印刷頭相對于基板在一個方向(主掃描方向)上的掃描次數，所以還可以縮短導體圖案的印刷時間并且高效地形成導體圖案。

這里，優選的是，引線部的在與導體圖案的長度方向正交的方向上的長度(下文稱為“引線部的寬度”)也大于墨滴的直徑。這使得，即使一個或一些印刷頭噴嘴被堵塞，也能夠利用從未堵塞的印刷頭噴嘴排出的墨滴印刷引線部，以確保第一導體部和第二導體部的可靠連接。