[發(fā)明專利]導(dǎo)體圖案形成方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110400075.5
• 申請(qǐng)日: 2011-12-02
• 公開（公告）號(hào): CN102529354A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森賢太郎;植松大輔;早川暢博
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/01
• 分類號(hào): B41J2/01
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及形成導(dǎo)體圖案的方法。

背景技術(shù)

存在如日本特開2006-35820號(hào)公報(bào)所公開的如下的傳統(tǒng)已知的噴墨印刷處理：借助于噴墨頭將給定的墨圖案印刷在諸如印刷紙或基板等印刷對(duì)象上，具體地，通過使噴墨頭沿與印刷對(duì)象的移動(dòng)方向正交的方向移動(dòng)的同時(shí)使印刷對(duì)象沿一個(gè)方向移動(dòng)來將給定的墨圖案印刷在諸如印刷紙或基板等印刷對(duì)象上。在該印刷處理中，無論圖案的取向如何(左右取向或前后取向)，印刷對(duì)象和噴墨頭的相對(duì)移動(dòng)方向，即，印刷在印刷對(duì)象上的圖案的實(shí)際方向總是恒定的。另外，如日本特開2009-212249號(hào)公報(bào)所公開的，噴墨頭通常被構(gòu)造成：在印刷處理過程中，在載置臺(tái)上的印刷對(duì)象移動(dòng)的同時(shí)，對(duì)熔融的墨施加壓力脈沖，由此將微小墨滴從噴嘴(墨排出孔)排出到印刷對(duì)象上。

上述噴墨印刷處理能夠被采用為各種印刷技術(shù)，不僅包括將諸如彩色墨等普通墨印刷到普通紙張上的普通紙印刷，而且包括將導(dǎo)體圖案印刷到電路基板上的導(dǎo)體圖案印刷。

發(fā)明內(nèi)容

然而，在噴墨印刷處理中，取決于印刷墨的狀態(tài)和噴墨頭的操作條件，噴墨頭的任一個(gè)或一些噴嘴可能被堵塞。當(dāng)噴墨印刷處理被采用為導(dǎo)體圖案形成技術(shù)時(shí)，由于噴嘴堵塞，會(huì)出現(xiàn)導(dǎo)體圖案的連接可靠性的劣化或?qū)w圖案的斷線(breakage)。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種導(dǎo)體圖案形成方法，通過該方法，能夠形成連接可靠性高的導(dǎo)體。本發(fā)明的目的還在于提供一種氣體傳感器制造方法，其中通過上面的導(dǎo)體圖案形成方法形成氣體傳感器元件的電極圖案。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種在基板上形成導(dǎo)體圖案的方法，所述導(dǎo)體圖案具有：引線部，其沿所述導(dǎo)體圖案的長(zhǎng)度方向延伸；第一導(dǎo)體部，其位于所述引線部的一端；以及第二導(dǎo)體部，其位于所述引線部的另一端，所述方法包括：通過噴墨印刷處理印刷至少所述引線部的印刷步驟，所述噴墨印刷處理包括在從印刷頭的噴嘴排出液態(tài)墨滴的同時(shí)使所述印刷頭掃描，其中，在所述印刷步驟中，沿所述導(dǎo)體圖案的長(zhǎng)度方向進(jìn)行所述印刷頭的掃描；并且，所述第一導(dǎo)體部和所述第二導(dǎo)體部的在與所述導(dǎo)體圖案的長(zhǎng)度方向正交的方向上的長(zhǎng)度均大于所述墨滴的直徑。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種氣體傳感器制造方法，其中通過上面的導(dǎo)體圖案形成方法形成氣體傳感器元件的電極圖案。

從下面的說明，本發(fā)明的其他目的和特征也將變得可以理解。

附圖說明

圖1是能夠?qū)嵤┍景l(fā)明的導(dǎo)體形成裝置的示意圖。

圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的導(dǎo)體圖案形成方法的示意圖。

圖3是示出傳統(tǒng)的導(dǎo)體圖案形成方法的示意圖。

圖4是通過圖2的導(dǎo)體圖案形成方法在基板上形成電極圖案的氣體傳感器的分解立體圖。

圖5是實(shí)施例和比較例中形成的導(dǎo)體圖案的平面圖。

具體實(shí)施方式

下面將借助于以下實(shí)施方式具體說明本發(fā)明。

本發(fā)明的以下實(shí)施方式涉及用于以如下方式在基板上形成導(dǎo)體圖案的導(dǎo)體圖案形成方法：使導(dǎo)體圖案具有沿導(dǎo)體圖案的長(zhǎng)度方向延伸的引線部、位于引線部的一端的第一導(dǎo)體部和位于引線部的另一端的第二導(dǎo)體部。在本實(shí)施方式中，導(dǎo)體圖案形成方法包括通過噴墨印刷處理，即通過在從印刷頭的噴嘴排出液態(tài)墨滴的同時(shí)使印刷頭掃描來印刷至少引線部的印刷步驟，其中沿導(dǎo)體圖案的長(zhǎng)度方向進(jìn)行印刷頭的掃描；并且第一導(dǎo)體部和第二導(dǎo)體部的在與導(dǎo)體圖案的長(zhǎng)度方向正交的方向上的長(zhǎng)度(下文稱為“第一導(dǎo)體部和第二導(dǎo)體部各自的寬度”)均大于從印刷頭的噴嘴排出的墨滴的直徑。

至少在印刷引線部的過程中沿導(dǎo)體圖案的長(zhǎng)度方向掃描印刷頭，而印刷頭的噴嘴通常沿與印刷頭的掃描方向交叉(例如，正交)的方向配置。另外，第一導(dǎo)體部和第二導(dǎo)體部均大于從印刷頭噴嘴排出的墨滴。由此，即使一個(gè)或一些印刷頭噴嘴被堵塞，也能夠利用從未堵塞的印刷頭噴嘴排出的墨滴連續(xù)地印刷引線部，使得不發(fā)生引線部的長(zhǎng)度方向上的斷線。因此，在本實(shí)施方式中，可以確保第一導(dǎo)體部和第二導(dǎo)體部通過該連續(xù)的引線部彼此連接，并且提高基板上的導(dǎo)體圖案的連接可靠性。由于在本實(shí)施方式中能夠確實(shí)地減少印刷頭相對(duì)于基板在一個(gè)方向(主掃描方向)上的掃描次數(shù)，所以還可以縮短導(dǎo)體圖案的印刷時(shí)間并且高效地形成導(dǎo)體圖案。

這里，優(yōu)選的是，引線部的在與導(dǎo)體圖案的長(zhǎng)度方向正交的方向上的長(zhǎng)度(下文稱為“引線部的寬度”)也大于墨滴的直徑。這使得，即使一個(gè)或一些印刷頭噴嘴被堵塞，也能夠利用從未堵塞的印刷頭噴嘴排出的墨滴印刷引線部，以確保第一導(dǎo)體部和第二導(dǎo)體部的可靠連接。