[發明專利]一種鎢涂層ODS鐵素體鋼第一壁部件的制造方法

有效

• 申請號: 201110398324.1
• 申請日: 2011-12-04
• 公開（公告）號: CN102443768A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 華云峰;李爭顯;王彥峰;王寶云;姬壽長;杜繼紅
• 申請（專利權）人: 西北有色金屬研究院
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/14
• 代理公司: 西安創知專利事務所 61213
• 代理人: 譚文琰

1.一種鎢涂層ODS鐵素體鋼第一壁部件的制造方法，其特征在于，該方法包括以下步驟：

步驟一、將ODS鐵素體鋼靶材和鎢靶材置于真空室中的水冷銅坩堝中，將ODS鐵素體鋼基體(1)采用輝光等離子清洗后水平置于ODS鐵素體鋼靶材和鎢靶材的上方；所述真空室的真空度不大于2×10^-2Pa；

步驟二、采用電子束加熱蒸發步驟一中所述ODS鐵素體鋼靶材和鎢靶材，在步驟一中所述ODS鐵素體鋼基體(1)的下表面制備ODS鐵素體鋼與鎢成分梯度過渡的界面層(2)；

步驟三、停止加熱蒸發步驟二中所述ODS鐵素體鋼靶材，繼續采用電子束加熱蒸發步驟二中所述鎢靶材，在步驟二中所述界面層(2)的下表面連續制備鎢涂層(3)，得到鎢涂層ODS鐵素體鋼第一壁部件。

2.根據權利要求1所述的一種鎢涂層ODS鐵素體鋼第一壁部件的制造方法，其特征在于，步驟一中所述ODS鐵素體鋼靶材和鎢靶材的上表面與ODS鐵素體鋼基體(1)的下表面之間的距離為200mm～500mm。

3.根據權利要求1所述的一種鎢涂層ODS鐵素體鋼第一壁部件的制造方法，其特征在于，步驟二中所述加熱蒸發的時間為10min～50min。

4.根據權利要求1所述的一種鎢涂層ODS鐵素體鋼第一壁部件的制造方法，其特征在于，步驟二中所述加熱蒸發鎢靶材的電子束功率由20kW～40kW增加至50kW～70kW，加熱蒸發ODS鐵素體鋼靶材的電子束功率由40kW～50kW降至10kW～20kW。

5.根據權利要求1所述的一種鎢涂層ODS鐵素體鋼第一壁部件的制造方法，其特征在于，步驟三中所述加熱蒸發鎢靶材的電子束功率為50kW～70kW，加熱蒸發時間為500min～750min。