[發明專利]低碳鋼表面高結合強度TIN陶瓷膜的制備方法無效
| 申請號： | 201110397829.6 | 申請日： | 2011-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN102433536A | 公開（公告）日： | 2012-05-02 |
| 發明（設計）人： | 趙暉 | 申請（專利權）人： | 沈陽理工大學 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 沈陽利泰專利商標代理有限公司 21209 | 代理人： | 李樞 |
| 地址： | 110159 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 低碳鋼 表面 結合 強度 tin 陶瓷膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.低碳鋼表面高結合強度TIN陶瓷膜的制備方法，是在低碳鋼表面經過強流脈沖電子束處理以后，再利用多弧離子鍍技術，在低碳鋼表面制備TIN陶瓷膜，特征在于包括以下工藝步驟：
（1）打磨碳鋼部件表面，除去表面的大尺寸缺陷；
（2）將經過步驟）處理的低碳鋼部件表面清洗，除去油污、雜質；
（3）將經過步驟（2）處理的部件放到真空室中進行高能脈沖電子束處理，高能脈沖電子束處理主要是對低碳鋼表面進行深度清洗；
（4）采用多弧離子鍍設備對通過步驟（3）處理的碳鋼部件表面進行離子鍍處理，使其表層鍍上一層TIN陶瓷膜。
2.如權利要求述的低碳鋼表面高結合強度TIN陶瓷膜的制備方法，其特征在于：上述步驟（3）中高能脈沖電子束處理參數為：電流密度100~150A，脈沖電壓12~15kV，脈沖頻率2~10Hz，脈沖次數2~10次。
3.如權利要求2所述的低碳鋼表面高結合強度TIN陶瓷膜的制備方法，其特征在于：電弧電流為40~80A；負偏壓-90~-120V；氣體離子源加速電壓10~15?kV、電流強度5~10mA；工作壓強為0.2Pa；沉積時間10~60min。
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