[發明專利]一種空間用齒輪沉積鎢摻雜含氫類金剛石薄膜的中間過渡層制備方法無效
| 申請號： | 201110396601.5 | 申請日： | 2011-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN102424949A | 公開（公告）日： | 2012-04-25 |
| 發明（設計）人： | 鄭軍;周暉;萬志華;桑瑞鵬 | 申請（專利權）人： | 中國航天科技集團公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京理工大學專利中心 11120 | 代理人： | 楊志兵;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 空間 齒輪 沉積 摻雜 含氫類 金剛石 薄膜 中間 過渡 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種空間用齒輪沉積鎢摻雜含氫類金剛石薄膜的中間過渡層制備方法，其特征在于：所述方法步驟如下：
(1)化學清洗，分別使用石油醚、丙酮、酒精對齒輪進行超聲波清洗；
(2)加熱及抽真空，保證中間層沉積時處于設定的溫度和真空范圍內；
(3)等離子體源轟擊清洗，向真空室通入氬氣，開啟等離子體源對齒輪表面進行轟擊清洗，去除齒輪表面的附著物；
(4)沉積Cr毗鄰層，開啟Cr靶在齒輪表面沉積Cr層，使得Cr層與齒輪表面形成強的界面；
(5)沉積Cr/WC成分梯度過渡層，同時開啟Cr靶及WC靶，通過控制Cr靶功率的衰減速率及WC靶功率的增加速率形成Cr/WC成分梯度過渡層，使其與Cr層及鎢摻雜含氫類金剛石薄膜間均形成強的界面；
(6)沉積鎢摻雜含氫類金剛石薄膜。
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