[發明專利]正型感光性樹脂組合物、以及使用該組合物形成固化膜的方法

有效

• 申請號: 201110396399.6
• 申請日: 2008-06-05
• 公開（公告）號: CN102566276A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 瀧田敏
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/00;C08F220/28;C08F220/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 丁業平;張天舒

1.一種正型感光性樹脂組合物，其至少包含：

(A)樹脂、以及

(B)在受到光化射線或放射線的輻射時能夠產生酸的化合物，

其中所述樹脂含有下式(1)所示的具有酸解離性基團的構成單元、以及具有能夠與羧基反應而形成共價鍵的官能團的構成單元，

所述樹脂不溶于堿或難溶于堿，并且當所述酸解離性基團發生解離時該樹脂變得可溶于堿，

其中R¹表示氫原子、甲基、鹵素原子或氰基；

R²和R³各自獨立地表示氫原子、直鏈或支鏈烷基、或環烷基，條件是R²和R³中至少一者表示直鏈或支鏈烷基、或環烷基；

R⁴表示可被取代的直鏈或支鏈烷基、可被取代的環烷基、或可被取代的芳烷基；并且

R²或R³可以與R⁴連接而形成環醚；

其中所述的具有能夠與羧基反應而形成共價鍵的官能團的構成單元是通過使用下式(3)或(5)所示的自由基聚合性單體而形成的構成單元，

在式(3)和(5)中，X表示二價有機基團，為-O-、-S-、-COO-或-OCH₂COO-；R⁷表示氫原子、甲基或鹵素原子；R⁸～R¹⁰和R¹³～R¹⁵各自獨立地表示氫原子或烷基；n為1至10的整數；

所述組分(B)為含有下式(2)所示的肟磺酸酯基的化合物：

其中R⁵表示可被取代的直鏈或支鏈烷基、可被取代的環烷基、或可被取代的芳基。

2.根據權利要求1所述的正型感光性樹脂組合物，

其中，所述組分(B)為下式(3)所表示的化合物：

其中R⁵的含義與式(2)中的R⁵相同；

X表示直鏈或支鏈烷基、烷氧基、或鹵素原子；

m表示0至3的整數；并且

當m表示2或3時，各X相互之間可以相同或不同。

3.根據權利要求1或2所述的正型感光性樹脂組合物，其還包含：(C)粘附助劑。

4.一種形成固化膜的方法，包括下列步驟：

將權利要求1所述的正型感光性樹脂組合物涂敷在襯底上并干燥，以形成涂層；

透過掩模使用光化射線或放射線對所述涂層進行曝光；

用堿性顯影劑對曝光后的涂層進行顯影，以形成圖案；以及

對所獲得的圖案進行熱處理。

5.根據權利要求4所述的形成固化膜的方法，還包括下列步驟：

在所述的使用堿性顯影劑對曝光后的涂層進行顯影以形成圖案的步驟之后、而在所述的對所獲得的圖案進行熱處理的步驟之前，對所獲得的圖案的整個表面進行曝光。