[發(fā)明專利]壓電振動元件及其制造方法、壓電振子及壓電振蕩器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110393650.3 | 申請日： | 2011-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN102487267A | 公開（公告）日： | 2012-06-06 |
| 發(fā)明（設計）人： | 山田明法 | 申請（專利權(quán)）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | H03H3/02 | 分類號： | H03H3/02;H03H9/21;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金信立方知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225 | 代理人： | 黃威;孫麗梅 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 振動 元件 及其 制造 方法 振蕩器 | ||
1.一種壓電振動元件，其特征在于，
具備多個棒狀的振動臂、和對各個振動臂的一側(cè)端部之間進行連接的基部，
在所述振動臂的另一側(cè)端部側(cè)具有多條狹縫。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電振動元件，其特征在于，
各條所述狹縫的長度方向尺寸互為相同，且長度方向兩端部的位置相一致。
3.如權(quán)利要求1所述的壓電振動元件，其特征在于，
各條所述狹縫的長度方向尺寸互為相同，且長度方向兩端部的位置交替錯開。
4.如權(quán)利要求1所述的壓電振動元件，其特征在于，
各條所述狹縫的長度方向尺寸互為相同，且寬度尺寸互不相同。
5.如權(quán)利要求1所述的壓電振動元件，其特征在于，
各條所述狹縫具備多組狹縫組，所述狹縫組通過連通狹縫而將相鄰的兩條狹縫的長度方向一端部之間連通。
6.如權(quán)利要求1所述的壓電振動元件，其特征在于，
各條所述狹縫的一端部在錘部的端部邊緣處開放。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的壓電振動元件，其特征在于，
各條所述狹縫被形成為，關于所述壓電基板的振動中心線對稱。
8.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的壓電振動元件，其特征在于，
具備被形成在所述另一側(cè)端部上的錘部，并且在所述錘部上具備所述狹縫。
9.一種壓電振動元件，其特征在于，
權(quán)利要求1至6中任一項所述的壓電振動元件為振動陀螺元件。
10.一種壓電振子，其特征在于，
具備權(quán)利要求1至6中任一項所述的壓電振動元件、和對該壓電振動元件進行收納的封裝件。
11.一種壓電振蕩器，其特征在于，
具備：權(quán)利要求1至6中任一項所述的壓電振動元件；集成電路部件，其對該壓電振動元件進行激勵；封裝件，其對所述壓電振動元件進行氣密密封且對所述集成電路部件進行收納。
12.一種壓電振動元件的制造方法，其特征在于，其為對如下的壓電振動元件進行制造的方法，
所述壓電振動元件具備多個棒狀的振動臂、和對該各個振動臂的一側(cè)端部之間進行連接的基部，
且所述壓電振動元件具備：
槽部，其分別被形成在所述振動臂的表面及背面上；
激勵電極，其被形成在所述振動臂的表面及背面上，
并且，在各個所述振動臂的另一側(cè)端部側(cè)形成有多條狹縫，
所述壓電振動元件的制造方法包括：
通過蝕刻而形成所述壓電振動元件的外形及所述狹縫的工序；
通過蝕刻而形成所述槽部的工序；
對所述激勵電極進行成膜的工序。
13.一種壓電振動元件的制造方法，其特征在于，
權(quán)利要求12所述的壓電振動元件為振動陀螺元件。
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