[發明專利]一種新型氣體調節裝置有效

申請號：	201110391546.0	申請日：	2011-11-30
公開（公告）號：	CN102518847A	公開（公告）日：	2012-06-27
發明（設計）人：	蘇乾益;李凱;宋志輝;李凌峰	申請（專利權）人：	北京七星華創電子股份有限公司
主分類號：	F16K17/20	分類號：	F16K17/20;F16K31/06
代理公司：	北京凱特來知識產權代理有限公司 11260	代理人：	鄭立明;趙鎮勇
地址：	100016 ***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種新型氣體調節裝置
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及一種氣體質量流量控制器，尤其涉及一種新型氣體調節裝置。

背景技術

電磁調節閥是氣體質量流量控制器的關鍵部件，能夠根據設定精確控制氣體流量。

現有技術中，電磁調節閥使采用非金屬材料密封的，一方面存在非金屬材料易老化的問題，故可靠性低；另一方面的耐腐蝕性能力有限，不能用于有較強腐蝕性氣體，應用范圍窄，并且閥體組件的體積大、結構復雜、裝配難度大，且閥體組件與閥芯之間空隙大、殘留的氣體多、不容易吹洗干凈。

發明內容

本發明的目的是提供一種耐腐蝕性能力強，閥體組件的體積小，易密封、易加工的新型氣體調節裝置。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的：

本發明的新型氣體調節裝置，包括通道，所述通道上設有電磁調節閥，所述電磁調節閥包括殼體、線包、磁軸、壓緊法蘭、閥罩、閥芯裝配體和閥口；

所述閥芯裝配體設于所述閥口的上方，所述閥罩套在所述閥芯裝配體的上部，所述壓緊法蘭套在所述閥罩的上部，所述殼體的下端與所述壓緊法蘭的上端固定連接，所述線包和磁軸設于所述殼體內，所述磁軸的上端與所述殼體的頂部螺紋連接，所述磁軸的下端伸入到所述閥芯裝配體的中心孔中，所述壓緊法蘭與所述通道固定連接；

所述電磁調節閥的零部件全部為金屬件，所述殼體、磁軸、壓緊法蘭、閥罩、閥芯裝配體均為導磁體。

由上述本發明提供的技術方案可以看出，本發明提供的新型氣體調節裝置，由于閥芯裝配體設于閥口的上方，閥罩套在閥芯裝配體的上部，壓緊法蘭套在閥罩的上部，殼體的下端與壓緊法蘭的上端固定連接，線包和磁軸設于殼體內，磁軸的上端與殼體的頂部螺紋連接，磁軸的下端伸入到閥芯裝配體的中心孔中，壓緊法蘭與通道固定連接；電磁調節閥的零部件全部為金屬件。耐腐蝕性能力強，閥體組件的體積小，易密封、易加工。

附圖說明

圖1為本發明實施例提供的新型氣體調節裝置的結構示意圖。

圖2為本發明實施例中的電磁調節閥的結構示意圖；

圖3為本發明實施例中的閥芯裝配體的剖視結構示意圖；

圖4為本發明實施例中的閥芯裝配體的立體結構示意圖。

圖中：1、通道，2、小金屬密封圈，3、閥口，4、調整墊，5、大金屬密封圈，6、閥芯裝配體，6.1、第一簧片，6.2、閥座，6.3、閥芯，6.4、閥口密封墊，6.5、第二簧片，7、閥罩，8、壓緊法蘭，9、磁軸，10、殼體，11、線包。

具體實施方式

下面將結合附圖對本發明實施例作進一步地詳細描述。

本發明的新型氣體調節裝置，其較佳的具體實施方式是：

包括通道，所述通道上設有電磁調節閥，所述電磁調節閥包括殼體、線包、磁軸、壓緊法蘭、閥罩、閥芯裝配體和閥口；

所述電磁調節閥的零部件全部為金屬件，所述殼體、磁軸、壓緊法蘭、閥罩、閥芯裝配體均為導磁體。

所述閥芯裝配體包括閥座，所述閥座內設有閥芯，所述閥座與閥芯的上端面通過第一簧片固定連接，所述閥座與閥芯的下端面通過第二簧片固定連接，所述閥芯的中心孔的下端裝有閥口密封墊。