[發(fā)明專(zhuān)利]超薄面板制造系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110391330.4
• 申請(qǐng)日: 2011-11-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102674698A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-09-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃龍?jiān)?/a>;姜東昊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 諾發(fā)光電股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C03C15/00
• 分類(lèi)號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;金光軍

1.一種超薄面板制造系統(tǒng)，其特征在于，包含如下步驟：

在堿性溶液中初步洗滌顯示面板；

豎直地放置完成所述初步洗滌的顯示面板，使包含F(xiàn)+離子的蝕刻溶液流過(guò)，以進(jìn)行使厚度變薄的蝕刻；

最終洗滌完成所述蝕刻的顯示面板；

檢查完成所述最終洗滌的顯示面板的表面；

測(cè)量完成所述表面檢查的顯示面板的厚度；以及

在完成所述厚度測(cè)量的顯示面板上附著保護(hù)薄膜，

其中，所述蝕刻步驟中，控制顯示面板的厚度蝕刻速度，用以控制表面粗糙度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄面板制造系統(tǒng)，其特征在于，在所述初步洗滌步驟之后，在所述顯示面板的一個(gè)面上附著掩膜，以在所述蝕刻步驟中進(jìn)行僅對(duì)顯示面板的單個(gè)面進(jìn)行蝕刻的單面蝕刻；在蝕刻步驟和最終洗滌步驟之間還包含將所述掩膜浸泡在水中進(jìn)行剝離的步驟。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超薄面板制造系統(tǒng)，其特征在于，在所述單面蝕刻中，針對(duì)單面附著有所述掩膜的兩個(gè)顯示面板，相互接合附著有所述掩膜的表面，以使兩個(gè)顯示面板同時(shí)進(jìn)行單面蝕刻。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或者3所述的超薄面板制造系統(tǒng)，其特征在于，所述最終洗滌的步驟中用蒸餾水噴射洗滌顯示面板。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或者3所述的超薄面板制造系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查顯示面板的表面的步驟中使用影像來(lái)檢查是否有劃痕。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超薄面板制造系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)量顯示面板的厚度的步驟中，通過(guò)利用激光束的自動(dòng)測(cè)量厚度裝置來(lái)以非接觸方式測(cè)量顯示面板的厚度，并用真空吸盤(pán)將所述顯示面板緊貼在工作臺(tái)來(lái)進(jìn)行測(cè)量。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超薄面板制造系統(tǒng)，其特征在于，所述在顯示面板上附著保護(hù)薄膜的步驟中，將涂覆有粘結(jié)劑的、3至30μm厚度的透明樹(shù)脂薄膜附著在顯示面板的單面或者雙面上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超薄面板制造系統(tǒng)，其特征在于，所述蝕刻的步驟中，針對(duì)顯示面板的厚度的蝕刻速度以21μm/分為上限，以控制表面粗糙度。