[發明專利]一種檢測排氣管道污染物的方法與裝置

無效

• 申請號: 201110390316.2
• 申請日: 2011-11-25
• 公開（公告）號: CN103134835A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 楊占光
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: G01N27/04
• 分類號: G01N27/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種檢測排氣管道污染物的方法與裝置，尤其的涉及離子注入機，屬于半導體器件制造設備領域。

背景技術

在半導體制造工藝中需要使用多種特殊氣體、大量的酸、堿等化學品以及有機溶劑和揮發性液體。這些氣體和化學品在半導體制造的不同工藝中使用，產生的廢氣通過排風系統收集并處理，這些廢氣如果沒有很好的處理好便進行排放，將損害人體健康，惡化大氣環境，造成環境污染的公害事件等，也會成為半導體制造中AMC污染的重要來源。在離子注入機中排出的廢氣也有酸性及特殊堿性氣體，要及時處理排放。長期排氣，離子源排氣管道會被污染，污染物過多會污染離子源，所以要及時清理過多的污染物。怎樣才能檢測管道被污染程度便成了要解決的問題。

本專利詳細闡述了如何檢測管道中污染物的污染程度。

發明內容

本專利是針對上述要求而提出的一種結構簡單、操作方便、可靠性高的檢測污染物的方法與裝置。

本發明通過以下技術方案來實現：

1.一種檢測排氣管道污染物的方法，其特征在于通過電導率檢測模塊(3)實時收集檢測漏電流信號，然后由模數轉換計算出電導率，經過模擬I/O板(2)送給主控計算機(1)，提示操作人員。其中電導率檢測模塊(3)持續發出一個檢測電壓信號，檢測電壓信號通過圓環電極接到排氣管道中(4)中。當排氣管道(4)中沒有污染物或污染物較少時，電導率檢測模塊(3)會顯示電導率結果為零或是一個極小值；當排氣管道(4)中污染物過多時，電導率檢測模塊(3)檢測的結果會超過主控計算機(1)設定的值，當主控計算機收到該檢測值會發出報警信號。

2.權利要求1中所述的排氣管道(4)，其特征在于管道內有兩個圓環電極，上下各一個，圓環電極面積要做夠大，要充分接觸到排氣管道(4)內壁。通過圓環電極的接觸面寬的特點，防止局部污染物過多時有時會無法檢測到，排除了漏檢的可能性，同時要求圓環電極要抗腐蝕性強，防止腐蝕性廢氣腐蝕電極。

本發明具有如下顯著優點：

1.結構簡單、操作方便，能夠準確實時地檢測管道的污染程度。

2.當污染物過多時，電導率檢測模塊能通過整流模塊檢測到漏電流。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步介紹，但不作為對本發明專利的限定。

圖1檢測排氣管道污染物的系統結構框圖。

具體實施方式

下面結合附圖的具體實施例對本發明作進一步介紹，這些描述都是說明性的，本發明不限于此。本發明的范圍僅由所附權利要求的范圍所限定。

如圖1所示的一種檢測排氣管道污染物的方法與裝置，包括：主控計算機、模擬I/O板、電導率檢測模塊、排氣管道、整流模塊。

其中在排氣管道兩端插入圓環電極，讓圓環電極盡可能地接觸到管道內表面，在銜接處要密封好，防止廢氣泄露。

整流模塊一端接到排氣管道中的圓環電極，另一端接到電導率檢測模塊。因為檢測電壓接到其中一個圓環電極，所以當排氣管道中污染物過多時，另一圓環電極會接收到部分電流，此時兩圓環電極間的污染物充當了導體的作用。此部分電流可以稱為漏電流，因為漏電流不穩定，所以需要通過整流模塊將此漏電流變為穩定的電流信號，再輸入到電導率檢測模塊中，才能轉換為電阻率，最后再將此信號通過模擬I/O板送給主控計算機。當測到的電阻率超過設定值時，主控計算機就會發出報警信號，提示操作人員及時清理排氣管道中的污染物。

電導率檢測模塊主要由中央處理器、數據采集及補償電路、A/D模數轉換電路組成。通過數據采集及補償電路對被測樣本信號即流過整流模塊的電流信號進行采集，將所采集的信號送入A/D模數轉換器將模擬信號轉換為數字信號，為中央處理器進行處理做準備。最后將處理的信號經過顯示電路解碼后，將電導率的檢測的結果送入主控計算機顯示出來。

以上所述已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。