[發明專利]特種氣體失效預警方法

無效

• 申請號: 201110388781.2
• 申請日: 2011-11-30
• 公開（公告）號: CN102495954A
• 公開（公告）日: 2012-06-13
• 發明（設計）人: 張懷;柯陳賓;劉惠然;胡秀梅
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F19/00
• 分類號: G06F19/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 陸花

技術領域

本發明涉及一種特種氣體失效預警方法。

背景技術

半導體產業發展迅速，半導體制程日益復雜，在半導體工廠中所使用的特種氣體是工藝過程必不可少的一部分。

特種氣體的供應具有兩個特征：一方面，半導體制造工藝對于特種氣體的質量要求極高，因此過期失效的特種氣體必須進行切換，以避免影響工藝質量，造成巨大經濟損失；另一方面，半導體生產過程要求特種氣體保證不間斷供應，高效準確的失效預警有利于更加精確地預測特種氣體的有效庫存量，從而保證生產正常運營。總而言之，特種氣體供應必須保證持續不斷地供應有效期限以內的特種氣體。因此，保持特種氣體供應系統的穩定運行，確保特種氣體失效預警的準確性對于確定正確的特種氣體庫存水平，進一步保證半導體工廠的正常運營有著非常重要的意義，并且對工廠產能目標的實現具有重大影響。

半導體工廠特種氣體的供應方式，目前應用最為廣泛的是采用鋼瓶進行輸送供氣。這種方式在具有使用靈活等優點的同時，也增加了特種氣體失效監測的難度。目前的特種氣體失效預警方法存在以下不足：

1)采用人工方式對特種氣體的失效情況進行檢查，難以準確地判斷潛在的氣體過期失效風險，容易造成失效漏報；

2)只是針對氣柜中的鋼瓶(“一用一備”即：存放“使用”和“備份”兩種類別鋼瓶)進行檢查，對暫存區和倉庫里的鋼瓶不進行檢查；

3)失效判斷方法相對落后，將鋼瓶的有效日期與當前日期進行比較，如果相差小于一定天數(如90天)，則認定特種氣體鋼瓶存在失效風險。

上述不足會存在一定的特種氣體供應風險，嚴重的會影響生產線的正常運轉。因此，有必要對現有的特種氣體失效預警方法進行改進，以期能夠在保證特種氣體穩定、可靠供應的同時，提升特種氣體庫存管理水平，降低庫存成本。

發明內容

本發明的目的在于提供特種氣體失效預警方法，以解決現有預警方法存在的難以全面而準確的判斷潛在的特有氣體過期失效風險的問題。

為解決上述問題，本發明提出一種特種氣體失效預警的方法，該方法包括如下步驟：

采集特種氣體歷史使用量指標數據和特種氣體鋼瓶指標數據，其中所述特種氣體鋼瓶指標數據包括特種氣體鋼瓶的有效日期；

根據特種氣體鋼瓶的指標數據對特種氣體鋼瓶進行排序并依次對特種氣體鋼瓶進行編號；

根據歷史使用量指標數據計算動態日平均使用量；

按照特種氣體鋼瓶的排序，根據特種氣體鋼瓶剩余量和日平均使用量數據依次計算每個特種氣體鋼瓶的耗盡日期和切換日期；

將計算所得的每個特種氣體鋼瓶的切換日期與其有效日期進行比較，如果兩者相等則對該特種氣體鋼瓶進行失效預警。

可選的，所述特種氣體鋼瓶指標數據還包括：

特種氣體鋼瓶的類別數據；以及

特種氣體鋼瓶剩余量數據。

可選的，所述特種氣體鋼瓶的類別數據包括如下類別：

“使用”：目前正在為工廠供應氣體的鋼瓶；

“備份”：為“使用”鋼瓶的備份鋼瓶，發生異常時或需要更換時，必須切換至“備份”鋼瓶進行供氣；

“暫存”：存放于暫存區的鋼瓶；

“倉庫”：存放于倉庫的鋼瓶。

可選的，所述根據特種氣體鋼瓶的指標數據對特種氣體鋼瓶進行排序并依次對特種氣體鋼瓶進行編號具體包括如下步驟：

依次將鋼瓶按照“使用”、“備份”、“暫存”、“倉庫”等4個鋼瓶類別進行排序；如果同類別的鋼瓶數量大于1，則按照有效日期先后進行二次排序；

將上述排序后的特種氣體鋼瓶依次進行編號。

可選的，所述動態日平均使用量的計算公式為：

U=Σm=1Mum/M]]>

其中，U為特種氣體的動態日平均使用量，M為統計歷史平均用量的時間段天數，u_m為M天時間段內第m天的氣體使用量(1≤m≤M)。

可選的，所述計算鋼瓶耗盡日期的公式為：