[發(fā)明專利]泵裝置及泵系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110386882.6 | 申請日: | 2011-11-29 |
| 公開(公告)號: | CN102536754A | 公開(公告)日: | 2012-07-04 |
| 發(fā)明(設計)人: | 野野村勇治;大坂常男;糸山龍二 | 申請(專利權(quán))人: | ULVAC機工株式會社 |
| 主分類號: | F04B43/04 | 分類號: | F04B43/04;F04B53/10 |
| 代理公司: | 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 孟桂超;張穎玲 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 系統(tǒng) | ||
1.一種泵裝置,其特征在于,包括:
殼體,具有吸入口、排出口、以及分別與所述吸入口以及所述排出口連通的泵室;
可動構(gòu)件,可在所述殼體的內(nèi)部移動,交互進行向所述泵室吸入流體和從所述泵室排出流體;
第一閥,安裝于所述吸入口和所述泵室之間,允許所述流體從所述吸入口向所述泵室流動;
第二閥,安裝于所述泵室與所述排出口之間,在所述泵室的流體大于或等于第一壓力時,允許所述流體從所述泵室向所述排出口流動;
第三閥,安裝于所述殼體上,在所述吸入口與所述排出口之間的所述流體大于所述第一壓力且小于或等于第二壓力時,限制所述流體從所述吸入口向所述排出口流動。
2.根據(jù)利要求1所述的泵裝置,其特征在于,所述第三閥配置于比所述第二閥更靠近排出口側(cè)的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的泵裝置,其特征在于,所述第三閥包括:根據(jù)大于或等于所述第一壓力且小于或等于所述第二壓力的壓力,開度連續(xù)地變化的閥構(gòu)件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的泵裝置,其特征在于,所述閥構(gòu)件為傘形閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的泵裝置,其特征在于,所述殼體進一步包括由聯(lián)絡所述第二閥和所述第三閥的流路的一部分擴展而成的空間部。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的泵裝置,其特征在于,所述可動構(gòu)件包括:劃分所述泵室的可變形隔膜。
7.一種泵系統(tǒng),其特征在于,包括:
泵裝置;
壓力源,連接于所述吸入口,向所述泵裝置提供小于或等于所述第二壓力的流體;
處理部,連接于所述排出口,處理從所述泵裝置排出的流體;
所述泵裝置包括:殼體,具有與所述壓力源聯(lián)絡的吸入口、與所述處理部聯(lián)絡的排出口、以及分別與所述吸入口以及所述排出口連通的泵室;可動構(gòu)件,可在所述殼體的內(nèi)部移動,交互進行向所述泵室吸入流體和從所述泵室排出流體;第一閥,安裝于所述吸入口和所述泵室之間,允許所述流體從所述吸入口向所述泵室流動;第二閥,安裝于所述泵室與所述排出口之間,允許大于或等于第一壓力的所述流體從所述泵室向所述排出口流動;第三閥,安裝于所述殼體上,限制大于所述第一壓力且小于或等于第二壓力的所述流體從所述吸入口向所述排出口流動。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的泵系統(tǒng),其特征在于,所述第三閥包括:隔斷小于或等于所述第二壓力的所述流體的流動的閥構(gòu)件。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的泵系統(tǒng),其特征在于,所述第三閥包括:根據(jù)大于或等于所述第一壓力且小于或等于所述第二壓力的壓力,開度連續(xù)地變化的閥構(gòu)件。
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