[發明專利]涂布顯影裝置

無效

• 申請號: 201110386760.7
• 申請日: 2011-11-29
• 公開（公告）號: CN102445840A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 何偉明;邢精成
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/16;G03F7/36
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

技術領域

本發明涉及一種涂布裝置，尤其涉及一種半導體集成電路制造領域的涂布顯影裝置。

背景技術

集成電路制造技術隨著摩爾定律快速向前發展，隨著關鍵尺寸的不斷縮小，芯片生產的資本投入和技術門檻越來越高。對于芯片制造商而言，尤其是晶圓代工（Foundry）業者來說，如何有效降低單位芯片的制造成本是制勝的法寶。通常，合理利用設備產能分配以實現單位時間的最大出貨量是降低成本的有效手段之一，因此每個機臺的出貨量(WPH)通常是建廠初期設備選型需要考量的核心要素之一。對于涂布顯影機(tracker)而言，涂布噴嘴（Nozzle）是核心部件之一。

如圖1中所示，1為涂布噴嘴，為了有效提高WPH并提高機臺的利用率，通常會把各種涂布噴嘴1集中放置在一個機械手臂的懸掛架上。并如圖2中所示，將Nozzle成一個直線排列隨著機械手臂2移動。而這種Nozzle排列方式在實際運行過程中，Nozzle頭之間的相互切換以及將懸掛架上的Nozzle移動到半導體薄片（wafer）中間時，由于Nozzle的移動均為直線移動，因此都需要耗費一定的時間，減少了WPH；并且直線移動對軟件設計也是一個考驗。尤其隨著晶圓尺寸增加，Nozzle的結構設計是否合理，成為制約提升WPH的重要因素。

因此，本領域的技術人員致力于開發一種減少Nozzle移動時間的涂布顯影裝置。

發明內容

鑒于上述的現有技術中的問題，本發明所要解決的技術問題是現有的涂布噴嘴移動時間較長。

本發明提供的一種涂布顯影裝置，包括機械手臂、懸掛架和若干涂布噴嘴，所述懸掛架的一端可旋轉的設于所述機械手臂上，所述懸掛架的另一端設有圓環形的安裝槽，所述若干涂布噴嘴包括嘴頭和相對于嘴頭的底端，所述若干涂布噴嘴的底端與所述安裝槽連接。

在本發明的一個較佳實施方式中，所述懸掛架上可旋轉的設于所述機械手臂上的一端的旋轉軸通過所述安裝槽的圓心。

在本發明的另一較佳實施方式中，所述若干涂布噴嘴與所述懸掛架上可旋轉的設于所述機械手臂上的一端的旋轉軸平行。

在本發明的另一較佳實施方式中，還包括驅動裝置，所述驅動裝置與懸掛架相連，并驅動所述懸掛架的一端旋轉。

在本發明的另一較佳實施方式中，還包括涂布顯影機，所述涂布顯影機與所述若干涂布噴嘴相連。

在本發明的另一較佳實施方式中，所述若干涂布噴嘴的底端與所述安裝槽之間固定連接

本發明的涂布顯影裝置結構簡單，制作方便，使用和安裝均較為簡便。可以減少因涂布噴嘴切換和移動帶來的出貨量損耗，以降低單位時間的制造成本。

附圖說明

圖1是現有技術的結構示意圖；

圖2是現有技術的機械手臂的結構示意圖；

圖3是本發明的機械手臂和涂布噴嘴的結構示意圖；

圖4是本發明的懸掛架及涂布噴嘴的俯視結構示意圖。

具體實施方式

以下將結合附圖對本發明做具體闡釋。

如圖3和圖4中所示的本發明的實施例的一種涂布顯影裝置，包括機械手臂1、懸掛架3和若干涂布噴嘴2。

如圖4中所示的懸掛架3，其中一端可旋轉的設于機械手臂上；另一端上設有圓環形的安裝槽32。若干涂布噴嘴2包括嘴頭和相對于嘴頭的底端，若干涂布噴嘴2的底端與安裝槽32連接。

如此，當本發明的懸掛架隨著機械手臂或者自身產生移動時，設于安裝槽上的涂布噴嘴也可隨之移動到合適的位置，以完成噴涂。

本發明利用了懸掛架上的圓環形的安裝槽以固定涂布噴嘴，如此，只需旋轉移動懸掛架，即可移動涂布噴嘴，從而避免了直線移動涂布噴嘴帶來的距離和時間的消耗，從而節省了工作時間，提升了出貨量。

本發明的涂布顯影裝置結構簡單，制作方便，使用和安裝均較為簡便。可以減少因涂布噴嘴切換和移動帶來的出貨量損耗，以降低單位時間的制造成本。

另如圖3中所示，在本發明的實施例中，懸掛架（圖中未示出）上可旋轉的設于機械手臂1上的一端的旋轉軸A-A’通過安裝槽的圓心。如此，可以方便的快速的移動懸掛架，節省時間。

此外，如圖3中所示，在本發明的實施例中，若干涂布噴嘴1與懸掛架上可旋轉的設于機械手臂上的一端的旋轉軸A-A’平行。

另外，在本發明的實施例中，還可以包括驅動裝置，驅動裝置與懸掛架相連，并驅動懸掛架的一端旋轉。通過驅動懸掛架自身旋轉，可以方便的在若干涂布噴嘴之間進行切換。