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[發明專利]一種螢石型涂層導體緩沖層及其制備方法無效

專利信息
申請號: 201110386230.2 申請日: 2011-11-28
公開(公告)號: CN102491748A 公開(公告)日: 2012-06-13
發明(設計)人: 金利華;盧亞鋒;馮建情;高玲;于澤銘;李成山 申請(專利權)人: 西北有色金屬研究院
主分類號: C04B35/48 分類號: C04B35/48;C04B35/622
代理公司: 西安創知專利事務所 61213 代理人: 譚文琰
地址: 710016*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 螢石 涂層 導體 緩沖 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種螢石型涂層導體緩沖層,其特征在于,該緩沖層的化學組成為MnxHf1-xO2,其中0.2≤x≤0.3。

2.一種制備如權利要求1所述緩沖層的方法,其特征在于,該方法包括以下步驟:

步驟一、將乙酰丙酮錳和乙酰丙酮鉿按照摩爾比為x∶(1-x)的比例稱取后溶解于丙酸,配制成乙酰丙酮錳和乙酰丙酮鉿總摩爾濃度為0.1mol/L~1.0mol/L的前驅液,其中0.2≤x≤0.3;

步驟二、將步驟一中所述前驅液旋涂于基底上,然后將旋涂前驅液的基底置于管式爐中,在還原性氣氛中,以不低于25℃/min的升溫速率將爐內溫度從室溫升至900℃~1050℃,并保溫0.2h~1h,隨爐冷卻至室溫,得到螢石型MnxHf1-xO2緩沖層。

3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,步驟一中所述丙酸為分析純試劑。

4.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,步驟二中所述基底為LaAlO3基底或NiW/Y2O3/YSZ基底,其中,NiW為鎳鎢金屬基帶,YSZ是指釔穩定的氧化鋯。

5.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,步驟二中所述旋涂的轉速為1000rpm~3000rpm,旋涂時間為10s~60s。

6.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,步驟二中所述還原性氣氛為氬氣與氫氣的混合氣氛,所述混合氣氛中氫氣的體積百分含量為4%。

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