[發明專利]采用毛細管放電極紫外光刻光源產生EUV輻射光的方法無效
| 申請號： | 201110385541.7 | 申請日： | 2011-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN102496551A | 公開（公告）日： | 2012-06-13 |
| 發明（設計）人： | 趙永蓬;徐強;王騏 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | H01J17/20 | 分類號： | H01J17/20;H01J17/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龍*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 毛細管 電極 紫外 光刻 光源 產生 euv 輻射 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種采用毛細管放電極紫外光刻光源產生EUV輻射光的方法，其特征在于：
分別通過輸氣管路同時向毛細管中輸入Xe氣和Ar氣，所述Xe氣的流量為0.2sccm～2sccm，Ar氣的流量為0.2sccm～10sccm，然后在毛細管兩端加載高壓脈沖電源，實現13.5nm波長的輻射光輸出。
2.根據權利要求1所述的采用毛細管放電極紫外光刻光源產生EUV輻射光的方法，其特征在于：所述Xe氣和Ar氣的流量比為1∶5。
3.根據權利要求1或2所述的采用毛細管放電極紫外光刻光源產生EUV輻射光的方法，其特征在于：所述Xe氣和Ar氣的流量采用流量計進行計量。
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