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[發(fā)明專利]微量研磨厚度測量裝置有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201110385054.0 申請日: 2011-11-28
公開(公告)號(hào): CN102423870A 公開(公告)日: 2012-04-25
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 文東輝;潘國慶;王揚(yáng)渝;張利 申請(專利權(quán))人: 浙江工業(yè)大學(xué)
主分類號(hào): B24B37/013 分類號(hào): B24B37/013
代理公司: 杭州天正專利事務(wù)所有限公司 33201 代理人: 王兵;黃美娟
地址: 310014 浙*** 國省代碼: 浙江;33
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 微量 研磨 厚度 測量 裝置
【權(quán)利要求書】:

1.微量研磨厚度測量裝置,其特征在于:由Al2O3修正環(huán)、載荷塊、螺旋千分尺和數(shù)字顯示器、緊貼被加工工件的基盤組成,所述數(shù)字顯示屏顯示螺旋千分尺中的讀數(shù),所述螺旋千分尺與載荷塊連接,所述Al2O3修正環(huán)的內(nèi)徑與基盤的外徑相同,所述載荷塊與Al2O3修正環(huán)構(gòu)成螺旋副,所述的螺旋副使得螺旋千分尺的轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)锳l2O3修正環(huán)的上下移動(dòng),所述的Al2O3修正環(huán)的底面與被加工工件的底面之間的高度差形成預(yù)設(shè)的研磨厚度。

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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖;

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