[發明專利]移動體驅動方法和移動體驅動系統、以及曝光方法和裝置

有效

• 申請號: 201110384985.9
• 申請日: 2007-08-31
• 公開（公告）號: CN102520588A
• 公開（公告）日: 2012-06-27
• 發明（設計）人: 柴崎祐一
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 吳麗麗

1.一種移動體驅動方法，在移動面內驅動移動體，其包含：

取得步驟，在將上述移動體驅動于上述移動面內的既定方向時，以既定控制取樣間隔取得與包含多個讀頭的編碼器系統的至少一個讀頭的檢測信號對應的測量數據，上述多個讀頭是用于測量上述移動體在上述移動面內的位置信息；以及

驅動步驟，根據包含最后取得的最新測量數據與至少一個數據前的數據的過去測量數據的多個數據、以及因上述檢測信號于傳播路徑中的傳播所導致的延遲時間的信息來驅動移動體，以修正因上述檢測信號的傳播所導致的測量延遲而造成的上述讀頭的測量誤差。

2.根據權利要求1的移動體驅動方法，其中，在上述取得步驟中，使用上述編碼器系統的多個讀頭測量上述移動體的位置信息，且以上述控制取樣間隔取得與各讀頭的檢測信號對應的測量數據；

在上述驅動步驟中，根據上述多個讀頭各自的上述多個數據與上述延遲時間的信息來驅動移動體，以修正因上述測量延遲導致的上述多個讀頭各自的測量誤差。

3.根據權利要求1的移動體驅動方法，其中，在上述取得步驟中，依序使用在上述編碼器系統的上述既定方向分離配置的多個讀頭測量上述移動體的位置信息，并以上述控制取樣間隔取得與各讀頭的檢測信號對應的測量數據。

4.根據權利要求1至3中任一項的移動體驅動方法，其中，在上述驅動步驟中，使用上述讀頭的上述多個數據，求出表示上述移動體位置的時間變化的近似直線及近似曲線的任一個，并根據上述近似直線及近似曲線的任一個與上述讀頭的上述延遲時間的信息來驅動上述移動體，以修正因上述測量延遲導致的上述讀頭的測量誤差。

5.根據權利要求1至4中任一項的移動體驅動方法，其中，由干涉儀系統進一步測量上述移動體在上述移動面內的位置信息；

且進一步包含：延遲時間取得步驟，將上述移動體驅動于既定方向，且在上述驅動中以既定取樣時點對上述編碼器系統的至少一個讀頭同時取得上述讀頭的檢測信號與上述干涉儀系統的檢測信號，并執行延遲時間取得處理，以根據兩檢測信號，以上述干涉儀系統的檢測信號為基準取得上述至少一個讀頭的上述延遲時間的信息。

6.根據權利要求5的移動體驅動方法，其中，在上述延遲時間取得步驟中，對上述編碼器系統的所有讀頭執行上述延遲時間取得處理。

7.根據權利要求5或6的移動體驅動方法，其中，在上述延遲時間取得步驟中，在進行上述延遲時間取得處理時，根據上述讀頭的檢測信號與上述干涉儀系統的檢測信號的強度差算出上述讀頭的延遲時間信息。

8.一種圖案形成方法，其包含：將物體裝載于可在移動面內移動的移動體上的步驟；以及

為了于上述物體形成圖案而通過權利要求1至20中任一項的移動體驅動方法來驅動上述移動體的步驟。

9.一種包含圖案形成步驟的組件制造方法，其中：

是在上述圖案形成步驟中，使用權利要求8的圖案形成方法來于基板上形成圖案。

10.一種曝光方法，通過能量束的照射將圖案形成于物體，其中：

是使用權利要求1至7中任一項的移動體驅動方法驅動裝載上述物體的移動體，以使上述能量束與上述物體相對移動。

11.一種曝光方法，依序更換在移動面內移動的移動體上的物體，依序對更換后的物體進行曝光以于各物體上分別形成圖案，其中：

每次在上述移動體上更換物體時，使用在包含曝光位置的既定有效區域內測量上述移動體在上述移動面內的位置信息的編碼器系統的至少三個編碼器，再次開始上述移動體在上述移動面內的位置控制。

12.根據權利要求11的曝光方法，其中，作為上述編碼器系統的各編碼器，使用對配置于上述移動體的上述移動面的平行面的光柵照射檢測光并接收來自上述各光柵的光，由此測量上述移動體在測量方向的位置信息的編碼器。

13.根據權利要求11或12的曝光方法，其中，在上述移動體上更換物體的期間，也使用上述編碼器系統的特定一個編碼器持續測量上述移動體在其測量方向的位置信息。