[發明專利]48對棒多晶硅還原爐

無效

• 申請號: 201110383510.8
• 申請日: 2011-11-28
• 公開（公告）號: CN102392299A
• 公開（公告）日: 2012-03-28
• 發明（設計）人: 趙建;李子林;盛斌;王中華;孫惺惺
• 申請（專利權）人: 江蘇雙良鍋爐有限公司
• 主分類號: C30B28/14
• 分類號: C30B28/14
• 代理公司: 江陰市同盛專利事務所 32210
• 代理人: 唐紉蘭

1.一種48對棒多晶硅還原爐，包括爐體（1）和底盤（2），爐體（1）帶有冷卻水腔，底盤（2）帶有水冷式結構，其特征在于：在底盤（2）上分四個圓周均勻設置48對即96個電極（4），其中，在底盤（2）的最外一圈設置18對電極（4），第二圈設置14對電極（4），第三圈設置10對電極（4），最內一圈設置6對電極（4），所述電極（4）的正極和負極在底盤（2）上逐一間隔設置。

2.根據權利要求1所述的一種48對棒多晶硅還原爐，其特征在于：在所述底盤（2）上同時設有30個均布的混合氣體進口（5），以及1個中心混合氣體出口（6）和多個均布的混合氣體出口（7），所述混合氣體進口（5）和混合氣體出口（7）在底盤（2）上分四個圓周均布設置，且均與所述電極（4）呈同心圓設置，在底盤（2）的最外一圈設置多個混合氣體出口（7），在最外一圈電極（4）與第二圈電極（4）之間設置多個混合氣體進口（5），在第二圈電極（4）與第三圈電極（4）之間設置多個混合氣體進口（5），在第三圈電極（4）與最內一圈電極（4）之間設置多個混合氣體進口（5），其中混合氣進口（5）與混合氣體進氣導管（11）相連，混合氣體出口（7）與混合氣體出氣導管（10）相連。

3.根據權利要求1或2所述的一種48對棒多晶硅還原爐，其特征在于：在所述底盤（2）和爐體（1）上均設有冷卻水腔，底盤（2）上設有冷卻水進口Ⅰ（8）和冷卻水出口Ⅰ（9），所述爐體（1）為鐘罩雙層夾套式爐體，爐體（1）夾套上設有冷卻水進口Ⅱ（12）和冷卻水出口Ⅱ（13），以及在爐體（1）夾套層設有螺旋狀布置的導流板（14）。

4.根據權利要求1或2所述的一種48對棒多晶硅還原爐，其特征在于：在爐體1上設有視鏡3，視鏡3為水冷雙層玻璃視鏡。

5.根據權利要求1或2所述的一種48對棒多晶硅還原爐，其特征在于：所述混合氣體出氣導管10為夾套水冷式的套管結構。