[發(fā)明專利]導(dǎo)線鍵合機的導(dǎo)線饋送裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110383322.5
• 申請日: 2011-11-28
• 公開（公告）號: CN102479729A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張悅;陳小亮;宋景耀
• 申請（專利權(quán)）人: 先進科技新加坡有限公司
• 主分類號: H01L21/60
• 分類號: H01L21/60;H01L21/67
• 代理公司: 北京申翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11214
• 代理人: 周春發(fā)

1.一種導(dǎo)線鍵合機，其包含有：

鍵合工具，其用于形成導(dǎo)線鍵合；

氣動設(shè)備，其用于將導(dǎo)線饋送至鍵合工具；

上夾具和下夾具，該上夾具和下夾具沿著位于氣動設(shè)備和鍵合工具之間的導(dǎo)線饋送路徑對齊定位，以在各自的夾持點處夾持導(dǎo)線；以及

固定的中間引導(dǎo)室，其大體從上夾具延伸至下夾具，該中間引導(dǎo)室沿著導(dǎo)線饋送路徑將導(dǎo)線封閉并被使用來保護和引導(dǎo)導(dǎo)線。

2.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線鍵合機，其中，該中間導(dǎo)線引導(dǎo)室?guī)缀跬耆顫M了上夾具和下夾具之間的間隙。

3.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線鍵合機，該導(dǎo)線鍵合機還包含有：

固定的上導(dǎo)線引導(dǎo)室，其大體從氣動設(shè)備延伸至上夾具，該上導(dǎo)線引導(dǎo)室沿著導(dǎo)線饋送路徑將導(dǎo)線封閉并被使用來保護和引導(dǎo)導(dǎo)線。

4.如權(quán)利要求3所述的導(dǎo)線鍵合機，其中，該上導(dǎo)線引導(dǎo)室?guī)缀跬耆顫M了氣動設(shè)備和上夾具之間的間隙。

5.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線鍵合機，該導(dǎo)線鍵合機還包含有：

固定的下導(dǎo)線引導(dǎo)室，其大體從下夾具延伸至鍵合工具，該下導(dǎo)線引導(dǎo)室沿著導(dǎo)線饋送路徑將導(dǎo)線封閉并被使用來保護和引導(dǎo)導(dǎo)線。

6.如權(quán)利要求5所述的導(dǎo)線鍵合機，其中，該下導(dǎo)線引導(dǎo)室?guī)缀跬耆顫M了下夾具和鍵合工具之間的間隙。

7.如權(quán)利要求5所述的導(dǎo)線鍵合機，該導(dǎo)線鍵合機還包含有：

導(dǎo)線引導(dǎo)器，其設(shè)置在下導(dǎo)線引導(dǎo)室和鍵合工具之間，該導(dǎo)線引導(dǎo)器還包含有孔洞，以通過該孔洞延伸和引導(dǎo)導(dǎo)線。

8.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線鍵合機，其中，該中間導(dǎo)線引導(dǎo)室沿著導(dǎo)線饋送路徑縱向地包圍該導(dǎo)線的所有側(cè)面。

9.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線鍵合機，其中，該中間導(dǎo)線引導(dǎo)室包含有由該中間導(dǎo)線引導(dǎo)室的內(nèi)壁所包圍的充足的空間，以允許導(dǎo)線在導(dǎo)線鍵合工序過程中沒有妨礙的情形下自由地振動。

10.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線鍵合機，其中，該中間導(dǎo)線引導(dǎo)室包含有底壁，該底壁朝向下夾具逐漸變窄，以同相鄰于上夾具相比，相鄰于下夾具側(cè)變得更窄。

11.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)線鍵合機，其中，該氣動設(shè)備還包含有：

底部出口，導(dǎo)線通過該底部出口延伸于氣動設(shè)備之外；

正壓通道，用于引入空氣流進入該氣動設(shè)備，以將導(dǎo)線吹出該底部出口之外；以及

負(fù)壓通道，位于正壓通道下方，并相鄰于底部出口設(shè)置，在空氣流從底部出口退出以前，該負(fù)壓通道被使用來從氣動設(shè)備處收集和排出通過正壓通道引入的部分空氣流。