[發明專利]鎳靶坯及靶材的制造方法

有效

• 申請號: 201110383245.3
• 申請日: 2011-11-25
• 公開（公告）號: CN102398035A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;王學澤;袁海軍
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料有限公司
• 主分類號: B22F3/16
• 分類號: B22F3/16;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種鎳靶坯的制造方法，其特征在于，包括：

在模具中裝入鎳粉；

進行冷壓成型工藝和真空熱壓燒結工藝，將所述模具中的鎳粉制成鎳靶坯毛料，所述真空熱壓燒結工藝的參數為：真空度大于或等于2×10^-3Pa，壓力大于或等于30MPa、燒結溫度為1000～1200℃，燒結時間為3～5h。

2.如權利要求1所述的鎳靶坯的制造方法，其特征在于，所述真空熱壓燒結工藝包括：

在所述冷壓成型工藝后，將裝有鎳粉的模具置于真空熱壓爐；

對所述真空熱壓爐抽真空，再進行熱壓燒結。

3.如權利要求2所述的鎳靶坯的制造方法，其特征在于，所述熱壓燒結包括：將所述真空熱壓爐升溫至燒結溫度1000～1200℃，然后開始加壓，加壓至30MPa以上后，保溫保壓1～2h；撤壓，繼續保溫2～3h。

4.如權利要求3所述的鎳靶坯的制造方法，其特征在于，還包括：在所述熱壓燒結前，將抽真空后的真空熱壓爐加熱至800～850℃，保溫1～1.5h。

5.如權利要求1所述的鎳靶坯的制造方法，其特征在于，所述冷壓成型工藝的壓力為0.5MPa～1MPa。

6.如權利要求1～5任一項所述的鎳靶坯的制造方法，其特征在于，還包括：在真空熱壓燒結后對裝有鎳靶坯毛料的模具進行冷卻。

7.如權利要求6所述的鎳靶坯的制造方法，其特征在于，所述冷卻的溫度為小于或等于200℃。

8.如權利要求6所述的鎳靶坯的制造方法，其特征在于，還包括：在冷卻后去除所述模具，對所述鎳靶坯毛料進行機加工。

9.如權利要求1所述的鎳靶坯的制造方法，其特征在于，所述鎳粉為純度大于或等于4N的鎳粉。

10.一種鎳靶材的制造方法，其特征在于，包括：

采用權利要求8所述的鎳靶坯的制造方法獲得鎳靶坯；

將所述鎳靶坯與背板進行焊接。