[發明專利]氣相外延裝置

有效

• 申請號: 201110382874.4
• 申請日: 2011-11-25
• 公開（公告）號: CN103132138A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 涂火金
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: C30B25/02
• 分類號: C30B25/02;C30B25/14;C30B25/10
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種氣相外延裝置，包括：

底板、上蓋板、位于底板和上蓋板之間的側壁和位于底板上的基板，所述底板、上蓋板、側壁和基板構成反應腔室，其特征在于，還包括：

位于側壁下端等夾角分布的至少4個的排氣口，用于排出反應腔室內的氣體；位于上蓋板上與基板相對設置的加熱裝置，所述加熱裝置上分布有若干加熱燈管。

2.如權利要求1所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述加熱裝置上還包括與所述加熱燈管間隔分布的進氣口，用于向反應腔室通入源氣體。

3.如權利要求2所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述加熱燈管在加熱裝置的上呈若干平行的第一直線分布，每條第一直線上加熱燈管間的間距相等，相鄰第一直線間的間距相等。

4.如權利要求3所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述進氣口分布在相鄰兩條第一直線之間，呈若干與第一直線平行的第二直線，每條第二直線上進氣口間的間距相等，相鄰第二直線間的間距相等。

5.如權利要求3所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述進氣口分布在第一直線上的加熱燈管之間，呈與第一直線重合的第三直線，每條第三直線上進氣口間的間距相等，相鄰第三直線間的間距相等。

6.如權利要求2所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述加熱燈管在加熱裝置上呈若干第一同心圓分布，每個第一同心圓上加熱燈管間的間距相等，第一同心圓間的間距相等，所述第一同心圓的圓心為加熱裝置的中心。

7.如權利要求6所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述進氣口分布在相鄰兩個第一同心圓之間，呈若干與第一同心圓同心的第二同心圓，每個第二同心圓上進氣口間的間距相等，相鄰第二同心圓間的間距相等。

8.如權利要求6所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述進氣口分布在第一同心圓上的加熱燈管之間，呈與第一同心圓重合的第三同心圓，每個第三同心圓上進氣口間的間距相等，相鄰第三同心圓間的間距相等。

9.如權利要求2所述的氣相外延裝置，其特征在于，進氣口的長度大于加熱燈管的長度，進氣口的頂端與加熱燈管頂端的距離范圍為5厘米～20厘米。

10.如權利要求2所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述進氣口和加熱燈管之間設置有隔離板，防止反應腔室內的源氣體在反應時沾污加熱燈管，所述進氣口貫穿隔離板。

11.如權利要求2所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述隔離板的材料為石英、碳化硅或者陶瓷。

12.如權利要求1所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述加熱裝置為直徑大于待處理襯底直徑的圓盤體。

13.如權利要求1所述的氣相外延裝置，其特征在于，還包括位于所述側壁上等夾角分布的至少4個進氣口，所述進氣口位于基板的上方。

14.如權利要求13所述的氣相外延裝置，其特征在于，所述進氣口與垂直于側壁的法線的夾角范圍為0度～60度。