[發明專利]控制器、光刻設備、控制物體位置的方法及器件制造方法

有效

• 申請號: 201110380824.2
• 申請日: 2011-11-22
• 公開（公告）號: CN102540756A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: R·I·卡米迪;H·巴特勒;M·霍凱斯;M·M·J·范德沃爾;J·J·M·范德維基德翁
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 吳敬蓮

技術領域

本發明涉及控制器、光刻設備、控制物體的位置的方法以及制造器件的方法。?

背景技術

光刻設備是一種將所需圖案應用到襯底上，通常是襯底的目標部分上的機器。例如，可以將光刻設備用在集成電路(IC)的制造中。在這種情況下，可以將可選地稱為掩模或掩模版的圖案形成裝置用于生成待形成在所述IC的單層上的電路圖案。可以將該圖案轉移到襯底(例如，硅晶片)上的目標部分(例如，包括一部分管芯、一個或多個管芯)上。所述圖案的轉移通常是通過將圖案成像到提供到襯底上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上。通常，單個襯底將包含連續形成圖案的相鄰目標部分的網絡。公知的光刻設備包括：所謂的步進機，在所述步進機中，通過將整個圖案一次曝光到所述目標部分上來輻射每一個目標部分；以及所謂的掃描器，在所述掃描器中，通過輻射束沿給定方向(“掃描”方向)掃描所述圖案、同時沿與該方向平行或反向平行的方向掃描所述襯底來輻射每一個目標部分。也可能通過將圖案壓印(imprinting)到襯底的方式從圖案形成裝置將圖案轉移到襯底上。?

光刻設備中的物體(例如支撐圖案形成裝置的支撐裝置和/或支撐襯底的襯底臺)的位置和/移動需要被精確地控制。此外，可以在六個自由度上移動和控制物體。控制系統可以設置成控制用以提供物體的所需位置和/或移動的致動器系統。?

在這種控制系統中，共振頻率可能導致不可接受的定位誤差。尤其地，物體本身的變形的共振頻率可能引出些問題。如果在物體上的多個位置處測量物體的位置(例如使用編碼器或者干涉儀)并且兩個或多個測量值用?于得出其他位置或位移(諸如圍繞軸線的旋轉)，則物體本身的變形的共振頻率尤其會引出些問題。在這種情形中，物體的變形依賴于物體真實位置可能導致物體位置的錯誤確定。這又會反饋至控制系統。?

因此，有必要限制控制系統的帶寬，以便避免由這種共振頻率引起的穩定性問題。如果共振行為本身例如依賴于物體的實際位置在被測量位置中以變化的方式顯示，則尤其會出現共振頻率引起的穩定性問題。然而，減小帶寬作為這個問題的解決方案會導致不可接受的大的位置誤差。?

發明內容

本發明旨在提供一種改進的控制系統。?

根據本發明的一方面，提供一種控制器，配置成控制用以控制定位裝置內的物體的位置的致動器系統，其中致動器系統包括布置用以作用在物體上的多個致動器；?

其中控制器包括處理器，所述處理器配置成使用增益平衡矩陣，以將表示想要施加至物體的重心的一組力的第一控制信號轉換成表示通過所述多個致動器施加的等價的一組力的第二控制信號，和?

處理器配置成使得，至少在第一控制信號處于第一頻帶內時使用第一增益平衡矩陣，并且至少在第一控制信號處于第二頻帶內時使用第二增益平衡矩陣。?

根據本發明的一方面，提供一種光刻設備，包括：?

照射系統，配置成調節輻射束；?

支撐裝置，構造成支撐圖案形成裝置，所述圖案形成裝置能夠將圖案在輻射束的橫截面上賦予輻射束以形成圖案化輻射束；?

襯底臺，構造成保持襯底；?

投影系統，配置成將圖案化輻射束投影到襯底的目標部分上；?

致動器系統，配置成控制支撐裝置和襯底臺中的一個的位置；和?

如上述的控制器，配置成控制所述致動器系統。?

根據本發明的一方面，提供一種控制光刻設備中的物體的位置的方法，包括：?

使用多個致動器以將力施加至所述物體；?

使用增益平衡矩陣以將表示想要施加至物體的重心的一組力的第一控制信號轉換成表示通過所述多個致動器施加的等價的一組力的第二控制信號；?

其中至少在第一控制信號在第一頻帶內時使用第一增益平衡矩陣，并且至少在第一控制信號在第二頻帶內時使用第二增益平衡矩陣。?

根據本發明的一方面，提供一種器件制造方法，包括將支撐在支撐裝置上的圖案形成裝置的圖案轉移至支撐在襯底臺上的襯底的步驟；?

其中在轉移所述圖案的所述步驟期間通過下列步驟控制所述支撐裝置和所述襯底臺中的至少一個的位置：?

使用多個致動器將力施加至支撐裝置和襯底臺中的所述一個；?

使用增益平衡矩陣以將表示期望被施加至支撐裝置和襯底臺中的所述一個的重心的一組力的第一控制信號轉換成表示通過所述多個致動器施加的等價的一組力的第二控制信號；?

其中，至少在第一控制信號處于第一頻帶內時使用第一增益平衡矩陣，并且至少在第一控制信號處于第二頻帶內時使用第二增益平衡矩陣。?

附圖說明