[發明專利]電子加速器的電子槍在線拆裝設備

有效

• 申請號: 201110380412.9
• 申請日: 2011-11-25
• 公開（公告）號: CN103140014A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 李金海;黃駿;尹蒙
• 申請（專利權）人: 中國原子能科學研究院
• 主分類號: H05H15/00
• 分類號: H05H15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及電子加速器的拆裝技術，具體涉及一種不破壞電子加速器的加速管真空環境的電子槍在線拆裝設備。

背景技術

電子槍是電子加速器的關鍵部件之一，也是一個易損部件，無論電子槍的性能指標如何，都有一定的壽命，其中發射電子的發射極是電子槍最主要的易損零件。有些加速器的電子槍外殼不在真空環境中，但是電子發射極都是在真空環境中。

在更換損壞的或即將到達壽命期限的電子槍的時候，常常希望最好不要破壞與電子槍相連的加速管真空環境。因為如果加速管的真空被破壞，重新工作時就需要重新進行高壓老練，這個老練過程是費時費力的，如果加速器是用于工業生產領域的，必然嚴重影響生產秩序。

另一方面，從束流光學的角度看，希望電子槍離加速管的距離越近越好，否則對于強流電子束而言，長距離空間距離傳輸的空間電荷力會引起束流發射度的增加，導致束流品質的下降，使得電子容易在加速管內損失，降低輸出電子束的功率。

發明內容

本發明的目的在于針對電子槍更換拆裝的技術要求，提供一種不破壞電子加速器的加速管真空環境的電子槍在線拆裝設備。

本發明的技術方案如下：一種電子加速器的電子槍在線拆裝設備，包括被真空隔離部件分隔為上下兩部分的密閉管件，密閉管件的下端與加速管的入口端相連接，密閉管件的上部空間連接真空泵抽氣管道，密閉管件的下部空間內設有電子槍定位部件，電子槍安裝在電子槍定位部件的底部，電子槍定位部件通過連接桿與設在密閉管件上方的保真空伸縮部件相連接。

進一步，如上所述的電子加速器的電子槍在線拆裝設備，其中，所述的電子槍定位部件包括結構相互適配的中間運動件和周邊固定件，中間運動件的上端與連接桿相連接，電子槍安裝在中間運動件的底部；所述的中間運動件分為上下兩部分，上部的外表面為直面，下部的外表面為斜面；所述的中間運動件的外表面為一個整體斜面，如圓錐面或多邊形錐面。

更進一步，如上所述的電子加速器的電子槍在線拆裝設備，其中，當所述的中間運動件分為上下兩部分時，其上部外表面為圓柱面或多邊形柱面，下部外表面為圓錐面或多邊形錐面。

進一步，如上所述的電子加速器的電子槍在線拆裝設備，其中，所述的真空隔離部件為真空閘板閥。

進一步，如上所述的電子加速器的電子槍在線拆裝設備，其中，所述的保真空伸縮部件為可伸縮的波紋管，也可以為活塞管。

本發明的有益效果如下：本發明在保持真空條件下，能夠使電子槍較大范圍地縱向運動和較小范圍地橫向運動，縱向運動用來進行電子槍的拆裝，橫向運動用來電子槍的對中安裝。真空隔離部件在電子槍拆離時，用機械的手段將電子槍發射面和加速管的真空隔離，從而實現了更換電子槍時不會影響加速管真空環境的效果。電子槍定位部件除了實現限定電子槍的空間坐標位置，還實現了限定電子槍的軸向方向。本發明在更換電子槍時不會破壞加速管的真空環境，而電子槍和加速管的距離很近，從而滿足了束流傳輸光學的要求。

附圖說明

圖1為電子加速器的電子槍在線拆裝設備的結構示意圖；

圖2為在線拆裝設備中電子槍定位部件的局部示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本發明進行詳細的描述。

如圖1所示，電子加速器的電子槍在線拆裝設備包括被真空隔離部件6分隔為上下兩部分的密閉管件2，密閉管件2的下端與加速管3的入口端相連接，密閉管件2的上部空間連接真空泵抽氣管道5，密閉管件2的下部空間內設有電子槍定位部件7，電子槍8安裝在電子槍定位部件7的底部，電子槍定位部件7通過連接桿4與設在密閉管件2上方的保真空伸縮部件1相連接。

密閉管件2的下部空間總是為真空狀態，當電子槍8被連接桿4提升至密閉管件2的上部空間進行拆裝更換的時候，真空隔離部件6將密閉管件2的上下兩部分隔離，從而保證下部空間的真空環境。在本實施例中，真空隔離部件6采用真空閘板閥，當然，也可以考慮采用其它用于開啟和封閉空間的閘門裝置。

連接桿4的運動是通過設在密閉管件2上方的保真空伸縮部件1的工作來實現的。本實施例中，保真空伸縮部件1為可伸縮的波紋管，波紋管的可壓縮行程是其原長度的一半。另外，保真空伸縮部件還可以考慮采用活塞管來實現，連接桿4與活塞管內的活塞連接，通過活塞的運動來帶動連接桿的升降。當然，其它實現連接桿上下運動的機構也是可以考慮采用的。