[發(fā)明專利]具有鈦膜保護功能的電子輻照加速器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110380385.5
• 申請日: 2011-11-25
• 公開（公告）號: CN103140012A
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設計）人: 李金海;韓廣文;黃駿
• 申請（專利權）人: 中國原子能科學研究院
• 主分類號: H05H7/00
• 分類號: H05H7/00;G21K5/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有鈦膜保護功能的電子輻照加速器，包括與電子槍連接的加速管(1)，加速管(1)通過電子真空傳輸管路(10)與掃描盒(8)連接，掃描盒(8)前端設有掃描磁鐵(7)，掃描盒(8)的出口處設有鈦膜，其特征在于：在加速管(1)出口外的電子真空傳輸管路(10)上設有一個用于擴大電子束束斑的單透鏡(4)。

2.如權利要求1所述的具有鈦膜保護功能的電子輻照加速器，其特征在于：所述的單透鏡(4)采用四極透鏡。

3.如權利要求1所述的具有鈦膜保護功能的電子輻照加速器，其特征在于：所述的單透鏡(4)采用螺線管透鏡。

4.如權利要求2所述的具有鈦膜保護功能的電子輻照加速器，其特征在于：當所述的單透鏡(4)采用四極透鏡時，在該四極透鏡后側的電子真空傳輸管路(10)上設有第二個四極透鏡(5)。

5.如權利要求4所述的具有鈦膜保護功能的電子輻照加速器，其特征在于：在所述的加速管(1)的出口處設有閘板閥(2)。

6.如權利要求5所述的具有鈦膜保護功能的電子輻照加速器，其特征在于：在閘板閥(2)與四極透鏡(4)之間的電子真空傳輸管路(10)上設有用于控制電子束流方向的導向鐵(3)。

7.如權利要求6所述的具有鈦膜保護功能的電子輻照加速器，其特征在于：第二個四極透鏡(5)后側的電子真空傳輸管路(10)上設有用于控制電子束流方向的導向鐵(6)。