[發明專利]一種壓電超聲振動吸附拾取器無效
| 申請號： | 201110380003.9 | 申請日： | 2011-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN102490132A | 公開（公告）日： | 2012-06-13 |
| 發明（設計）人： | 李華;殷振;謝鷗;曹自洋;趙江江;李艷;楊建鋒;汪幫富;齊文春;張峰 | 申請（專利權）人： | 蘇州科技學院 |
| 主分類號： | B25B11/00 | 分類號： | B25B11/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人： | 曹毅 |
| 地址： | 215000 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓電 超聲 振動 吸附 拾取 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓電超聲振動吸附拾取器，其特征在于，包括
??????一振動腔體（6）、振動腔體（6）的內部設有一空間作為振動腔（3），
??????一振動盤（2），置于振動腔（3）的后端，連接在振動腔體（6）的內部，振動盤（2）的后端設有壓電陶瓷片（1），
??????一拾取吸盤（7），連接在振動腔體（6）的前端，與振動腔（3）連通，拾取吸盤（7）的后端還連通有吸氣閥（4）和排氣閥（5），拾取吸盤（7）的前端設有一個或多個小型彈性空腔，每個小型彈性空腔都與吸氣閥（4）相連通。
2.根據權利要求1所述的壓電超聲振動吸附拾取器，其特征在于，所述壓電陶瓷片（1）與振動盤（2）粘接為一體。
3.根據權利要求1或2所述的壓電超聲振動吸附拾取器，其特征在于，所述的壓電陶瓷片（1）連接有壓電超聲驅動電源。
4.根據權利要求1所述的壓電超聲振動吸附拾取器，其特征在于，所述振動盤（2）通過壓緊端蓋（8）彈性固定在振動腔體（6）的內部。
5.?根據權利要求1所述的壓電超聲振動吸附拾取器，其特征在于，所述排氣閥（5）與振動腔體（6）的前端內孔之間構成變截面的環形排氣通道。
6.????根據權利要求1所述的壓電超聲振動吸附拾取器，其特征在于，所述吸氣閥（4）與排氣閥（5）的內孔之間構成變截面的環形吸氣通道。
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