[發明專利]一種固定磨料化學機械研磨裝置有效
| 申請號： | 201110379522.3 | 申請日： | 2011-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN102490111A | 公開（公告）日： | 2012-06-13 |
| 發明（設計）人： | 白英英;黃耀東;張守龍;張明華;陳玉文 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陸花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 固定 磨料 化學 機械 研磨 裝置 | ||
1.一種固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，包括：
研磨機臺；
固定研磨微粒帶，設置于所述研磨機臺上；
供料滾軸和回料滾軸，分別設置于所述固定研磨微粒帶兩端，所述固定研磨微粒帶卷設于所述供料滾軸和回料滾軸上；
激光器，設置于所述供料滾軸的內部；
光學感應器，設置于卷設有固定研磨微粒帶的供料滾軸外側，并且處于所述激光器發出的光線路徑上。
2.根據權利要求1所述的固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，所述研磨機臺兩端分別設置有傳送軸，所述固定研磨微粒帶通過所述傳送軸設置于所述研磨機臺上。
3.根據權利要求1所述的固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，所述研磨機臺上設置有警報器，當所述光學感應器接收到激光信號后發出警報。
4.根據權利要求3所述的固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，所述警報器在發出警報后控制所述研磨機臺在完成當前晶圓研磨后停止運行。
5.根據權利要求1所述的固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，所述固定研磨微粒帶為二氧化鈰與樹脂固結，分布于高分子基材上。
6.一種固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，包括：
研磨機臺；
固定研磨微粒帶，設置于所述研磨機臺上；
供料滾軸和回料滾軸，分別設置于所述固定研磨微粒帶兩端，所述固定研磨微粒帶卷設于所述供料滾軸和回料滾軸上；
激光器和光學感應器，相對設置于所述固定研磨微粒帶的兩側，并且位于所述供料滾軸和研磨機臺之間，其中所述光學感應器處于所述激光器發出的光線路徑上。
7.根據權利要求6所述的固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，所述研磨機臺兩端分別設置有傳送軸，所述固定研磨微粒帶通過所述傳送軸設置于所述研磨機臺上。
8.根據權利要求6所述的固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，所述研磨機臺上設置有警報器，當所述光學感應器接收到激光信號后發出警報。
9.根據權利要求8所述的固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，所述警報器在發出警報后控制所述研磨機臺在完成當前晶圓研磨后停止運行。
10.根據權利要求6所述的固定磨料化學機械研磨裝置，其特征在于，所述固定研磨微粒帶為二氧化鈰與樹脂固結，分布于高分子基材上。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海華力微電子有限公司，未經上海華力微電子有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110379522.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
