[發明專利]一種多只BGA貼片的運動裝置無效
| 申請號: | 201110378518.5 | 申請日: | 2011-11-24 |
| 公開(公告)號: | CN103137504A | 公開(公告)日: | 2013-06-05 |
| 發明(設計)人: | 曹捷;梁荷巖 | 申請(專利權)人: | 西安中科麥特電子技術設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60;H01L21/50 |
| 代理公司: | 西安西達專利代理有限責任公司 61202 | 代理人: | 郭秋梅 |
| 地址: | 710119 陜西省西*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 bga 運動 裝置 | ||
1.一種多只BGA貼片的運動裝置,包括有設在支撐架(5)上的汽缸(1),其特征在于,汽缸(1)的動力輸出端與萬能平臺(12)相連,萬能平臺(12)的底部設有吸嘴(10),萬能平臺(12)與導桿(9)滑動連接,導桿(9)的中部設有限位器(8),導桿(9)上端與支撐架(5)的頂板相連,下端與工作臺(7)相連,支撐架(5)的外側設有氣閥II(4)、氣閥I(3),氣閥II(4)、氣閥I(3)通過氣體導管(2)與汽缸(1)相連,萬能平臺(12)的內側設有內導軌(14),內導軌(14)上設滑桿(13),滑桿(13)上設有吸嘴固定板(16)。
2.根據權利要求1所述的一種多只BGA貼片的運動裝置,其特征在于,所述的吸嘴固定板(16)通過緊固螺釘(15)與滑桿(13)相連。
3.根據權利要求1所述的一種多只BGA貼片的運動裝置,其特征在于,所述的萬能平臺(12)兩側設有調節器(11)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





