[發(fā)明專利]一種微結(jié)構(gòu)陣列表面的微細(xì)、精密和鏡面一體化磨削方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110377838.9
• 申請日: 2011-11-24
• 公開（公告）號: CN102501152A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝晉;鄭佳華;羅敏健
• 申請（專利權(quán)）人: 華南理工大學(xué)
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B9/08;B24B9/04
• 代理公司: 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102
• 代理人: 何淑珍

1.一種微結(jié)構(gòu)陣列表面的微細(xì)、精密和鏡面一體化磨削方法，其特征在于包括如下步驟：

（1）將金剛石砂輪刀具固定在機(jī)床的砂輪軸上，待加工工件固定在水平面上；

（2）成型加工：金剛石砂輪刀具隨砂輪軸高速旋轉(zhuǎn)，砂輪行進(jìn)方向垂直于砂輪軸軸向方向，金剛石砂輪刀具的V形尖角對工件表面進(jìn)行磨削，完成間距相等平行分布的第一溝槽加工；將砂輪軸水平轉(zhuǎn)動，對工件表面再次磨削，完成間距相等平行分布的第二溝槽加工；由此將工件表面加工成微結(jié)構(gòu)陣列表面；微結(jié)構(gòu)陣列高度為10~800微米，微結(jié)構(gòu)面夾角為30~120度；金剛石砂輪每次進(jìn)給深度為10~50微米，累計進(jìn)給深度10~800微米，進(jìn)給速度為1~3米/分；

（3）鏡面加工：步驟（2）中加工工件裝夾位置不變，金剛石砂輪沿第一溝槽、第二溝槽行進(jìn)，對微結(jié)構(gòu)陣列表面進(jìn)行鏡面加工；進(jìn)給速度為0.1~0.6米/分，開始，砂輪每次進(jìn)給深度為5~15微米，累計進(jìn)給深度150微米，然后，砂輪每次進(jìn)給深度為1~3微米，累計進(jìn)給深度3~10微米，零磨削4~7次。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述微結(jié)構(gòu)陣列表面的微細(xì)、精密和鏡面一體化磨削方法，其特征在于，所述步驟（1）中的金剛石砂輪為金屬基細(xì)金剛石砂輪，金剛石砂輪粒度為600~1500目，結(jié)合劑為青銅。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述微結(jié)構(gòu)陣列表面的微細(xì)、精密和鏡面一體化磨削方法，其特征在于，所述步驟（2）中的金剛石砂輪為樹脂基超細(xì)金剛石砂輪，金剛石粒度為3000-8000目，結(jié)合劑為樹脂。

4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述微結(jié)構(gòu)陣列表面的微細(xì)、精密和鏡面一體化磨削方法，其特征在于，所述金剛石砂輪直徑為80~300毫米，寬度0.2~10毫米，濃度為4.4克拉/cm³~5.28克拉/cm³，?V形尖角的角度α為30~120度，尖角圓弧半徑為3~50微米。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述微結(jié)構(gòu)陣列表面的微細(xì)、精密和鏡面一體化磨削方法，其特征在于，加工中金剛石砂輪轉(zhuǎn)速為1500~3000轉(zhuǎn)/分，采用水和水溶性磨削液作為冷卻液。