[發明專利]光刻機工件臺陀螺定軸式穩定裝置

無效

• 申請號: 201110377775.7
• 申請日: 2011-11-12
• 公開（公告）號: CN102402134A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 崔繼文;趙雄浩;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻機工件臺陀螺定軸式穩定裝置，其特征在于：在基臺(1)上端通過氣浮導軌連接安裝平衡質量塊(2)，所述的平衡質量塊(2)可在X、Y平面內自由平移運動，通過在基臺(1)上端面中間部位處的凸臺(13)限定平衡質量塊(2)的運動行程，在平衡質量塊(2)沿X軸兩側部位上分別對稱安裝X向第一直線電機定子(5a)和X向第二直線電機定子(5b)，X向第一直線電機動子(6a)和X向第二直線電機動子(6b)通過氣浮導軌分別安裝在X向第一直線電機定子(5a)和X向第二直線電機定子(5b)上，在X向第一與第二直線電機動子(6a)與(6b)之間剛性固定Y向導軌(8)，Y向直線電機定子(9)固裝在Y向導軌(8)上，Y向直線電機動子(7)通過氣浮導軌安裝在Y向導軌(8)上，硅片承載臺(10)剛性固定在Y向直線電機動子(7)的側部上，硅片臺支承座(3)底部通過氣浮連接于基臺(1)上，硅片臺支承座(3)的頂部與硅片承載臺(10)剛性連接；在平衡質量塊(2)四角處對稱設有四個槽坑，由內部帶有高速回轉體的機械陀螺儀(12)和陀螺儀固定座(11)構成第一陀螺穩定裝置(4a)、第二陀螺穩定裝置(4b)、第三陀螺穩定裝置(4c)、第四陀螺穩定裝置(4d)沿Y軸方向分別剛性固裝在四個槽坑內，陀螺儀固定座(11)與槽坑固連。