[發(fā)明專利]用激光刻蝕形成石墨烯圖案的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110375846.X | 申請日： | 2011-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN102501701A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 陳凱;黃海東;黃受林;劉錫鋼 | 申請（專利權）人： | 深圳力合光電傳感技術有限公司 |
| 主分類號： | B44C1/22 | 分類號： | B44C1/22;B41J3/407 |
| 代理公司： | 深圳市中知專利商標代理有限公司 44101 | 代理人： | 呂曉蕾 |
| 地址： | 518106 廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 刻蝕 形成 石墨 圖案 方法 | ||
1.一種用激光刻蝕形成石墨烯圖案的方法，其特征在于它包括如下的步驟：
A：使用普通電腦將所需要的導電膜圖形繪制成Auto-CAD文檔格式；
B：將已經繪制好的Auto-CAD文檔格式的導電膜圖形輸入光纖激光打標機；把有涂有石墨烯的玻璃放在光纖激光打標機的載臺上；
C：設定光纖激光打標機的打標參數：
激光輸出功率為：10-20w，
激光掃描速度為：100-1000mm/min，
被刻蝕后形成的石墨烯線條圖形，線條圖形間距10-100μm。
2.如權利要求1中所述的用激光刻蝕形成石墨烯圖案的方法，其特征在于所設定的光纖激光打標機的打標參數如下：
激光輸出功率為：18w，
激光掃描速度為：500mm/min，
被刻蝕后形成的石墨烯線條圖形，線條圖形間距15μm。
3.如權利要求1中所述的用激光刻蝕形成石墨烯圖案的方法，其特征在于所設定的光纖激光打標機的打標參數如下：
激光輸出功率為：19w，
激光掃描速度為：600mm/min，
被刻蝕后形成的石墨烯線條圖形，線條圖形間距17μm。
4.如權利要求1中所述的用激光刻蝕形成石墨烯圖案的方法，其特征在于所設定的光纖激光打標機的打標參數如下：
激光輸出功率為：15w，
激光掃描速度為：400mm/min，
被刻蝕后形成的石墨烯線條圖形，線條圖形間距14μm。
5.如權利要求1中所述的用激光刻蝕形成石墨烯圖案的方法，其特征在于所設定的光纖激光打標機的打標參數如下：
激光輸出功率為：10w，
激光掃描速度為：100mm/min，
被刻蝕后形成的石墨烯線條圖形，線條圖形間距43μm。
6.如權利要求1中所述的用激光刻蝕形成石墨烯圖案的方法，其特征在于所設定的光纖激光打標機的打標參數如下：
激光輸出功率為：20w，
激光掃描速度為：100mm/min，
被刻蝕后形成的石墨烯線條圖形，線條圖形間距100μm。
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