[發(fā)明專利]具有電路的復合式金屬陶瓷基板的制法及其結構無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110375140.3 | 申請日: | 2011-11-16 |
| 公開(公告)號: | CN103117335A | 公開(公告)日: | 2013-05-22 |
| 發(fā)明(設計)人: | 方學智;鄧煥平;洪迪恩 | 申請(專利權)人: | 和淞科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/00 | 分類號: | H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁揮;常大軍 |
| 地址: | 中國臺灣新*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 電路 復合 金屬陶瓷 制法 及其 結構 | ||
1.一種具有電路的復合式金屬陶瓷基板的制法,其特征在于,包括下列步驟:
a、提供金屬基板;
b、對金屬基板進行前處理,以去除金屬基板表面的各種物質(zhì)及油污;
c、將陶瓷材料噴涂濺鍍到金屬基板表面,并將金屬基板完全包覆住;
d、對金屬基板進行干燥處理;以及
e、于陶瓷層上形成所需電路。
2.根據(jù)權利要求1項所述的具有電路的復合式金屬陶瓷基板的制法,其特征在于,步驟a的金屬基板具有至少一穿孔,該金屬基板為鋁、鈦或鎂任一種所構成,步驟b前處理包含脫脂、除污或除銹任一種。
3.根據(jù)權利要求1所述的具有電路的復合式金屬陶瓷基板的制法,其特征在于,步驟c是使用等離子熔射、噴涂或等離子氧化燒結的其中任一種方式,并利用不同電壓功率、電流大小、脈波頻率大小而將陶瓷材料噴涂濺鍍到金屬基板表面。
4.根據(jù)權利要求1所述的具有電路的復合式金屬陶瓷基板的制法,其特征在于,步驟c的陶瓷材料為氧化鋁、氮化鋁或氮化硼復合組成。
5.根據(jù)權利要求1所述的具有電路的復合式金屬陶瓷基板的制法,其特征在于,步驟d后還包括步驟d1,該步驟d1為于該陶瓷層上進行蝕刻并形成一線路路徑,該步驟e中,該電路形成在該線路路徑上。
6.根據(jù)權利要求1所述的具有電路的復合式金屬陶瓷基板的制法,其還包括步驟f,該步驟f為將電子元件結合在該電路上。
7.一種具有電路的復合式金屬陶瓷基板結構,其特征在于,包括:
一金屬基板;
一陶瓷披覆層,將金屬基板完全包覆住;
一電路,設于陶瓷披覆層上;以及
至少一電子元件,結合于電路上。
8.根據(jù)權利要求7所述的具有電路的復合式金屬陶瓷基板結構,其特征在于,金屬基板具有至少一穿孔,為鋁、鈦或鎂任一種所構成。
9.根據(jù)權利要求7所述的具有電路的復合式金屬陶瓷基板結構,其特征在于,陶瓷披覆層為氧化鋁、氮化鋁或氮化硼復合組成。
10.根據(jù)權利要求7所述的具有電路的復合式金屬陶瓷基板結構,其特征在于,陶瓷披覆層完全包覆住金屬基板后的厚度在6mm以上。
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