[發(fā)明專利]光刻機(jī)投影物鏡溫度均衡裝置及均衡方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110374973.8
• 申請(qǐng)日: 2011-11-22
• 公開（公告）號(hào): CN102411265A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱駿;陳力鈞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G05D23/00
• 代理公司: 隆天國際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 吳世華;張龍哺

1.一種光刻機(jī)投影物鏡溫度均衡裝置，包括：

臨近于該投影物鏡設(shè)置的至少一個(gè)溫度傳感器，用于感測該投影物鏡不同區(qū)域的溫度差值；

一個(gè)通風(fēng)裝置，該通風(fēng)裝置包括一個(gè)進(jìn)風(fēng)口、一個(gè)排風(fēng)口和至少一條通風(fēng)管道，該通風(fēng)管道包圍該投影物鏡頂部并在朝向該投影物鏡的徑向設(shè)有至少一個(gè)開口；

物鏡溫度均衡控制單元，該溫度均衡控制單元可根據(jù)該溫度傳感器感測到的溫差控制該通風(fēng)裝置的運(yùn)行狀態(tài)。

2.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)投影物鏡溫度均衡裝置，其特征在于，所述開口偏離所述通風(fēng)管道的進(jìn)風(fēng)口與排風(fēng)口設(shè)置。

3.如權(quán)利要求2所述的光刻機(jī)投影物鏡溫度均衡裝置，其特征在于，所述開口為2個(gè)并成180度方向?qū)ΨQ設(shè)置。

4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的光刻機(jī)投影物鏡溫度均衡裝置，其特征在于，所述通風(fēng)裝置還包括一個(gè)風(fēng)速調(diào)節(jié)閥，用于調(diào)控該通風(fēng)裝置通入的風(fēng)速。

5.一種利用權(quán)利要求1所述的裝置均衡光刻機(jī)投影物鏡溫度的方法，包括如下步驟：

1)感測該投影物鏡不同區(qū)域的溫差；

2)當(dāng)該不同區(qū)域的溫差超出設(shè)定的閾值時(shí)，向該投影物鏡頂部通風(fēng)。

6.如權(quán)利要求5所述的均衡光刻機(jī)投影物鏡溫度的方法，其特征在于，在步驟2)中通入超純凈化空氣，通入風(fēng)速為10mm/s至1000mm/s，溫度為21.9攝氏度至22.1攝氏度。