[發明專利]基板保持件、基板搬送裝置以及基板處理系統

無效

• 申請號: 201110371242.8
• 申請日: 2008-12-08
• 公開（公告）號: CN102556662A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 駒田秀樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G47/74
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

本案是申請號為200810185712.X、發明名稱為基板保持件、基板搬送裝置以及基板處理系統的專利申請的分案申請

技術領域

本發明涉及例如對平板顯示器(FPD)用的基板進行搬送時用于對其進行保持的基板保持件以及具有該基板保持件的基板搬送裝置以及基板搬送系統。

背景技術

在以液晶顯示器(LCD)為代表的FPD的制造過程中，在真空下對玻璃基板等被處理體實施蝕刻、成膜等各種處理。在FPD的制造過程中，使用具有多個基板處理室的、所謂的多腔室型的基板處理系統。這種基板處理系統包括：配置有用于搬送基板的基板搬送裝置的搬送室；以及設置在該搬送室的周圍的多個處理腔室。而且，通過搬送室內的基板搬送裝置，將基板搬入到各個處理腔室內，或者從各處理腔室將處理完的基板搬出。在基板的搬送中，通用的例子是使用稱作叉子(叉部)的基板保持件。叉部具有下述構造，即，在安裝于能夠進出退避的搬送臂部上的共通的基部上以梳齒(comb)狀形成有多個支撐拾取器。

近階段，對FPD用基板的大型化的要求進一步增強，有時候會以單邊的長度超過2m的巨大基板作為處理對象。隨著基板的大型化，上述叉部也隨之大型化。若叉部大型化，則即便叉部處于不載置基板的狀態下，也會因為其自重而從支撐拾取器的基端部向前端部施力從而產生弓形的撓曲。此外，當在叉部上載置有大型基板的狀態下，會進一步加上基板的重量。為了防止產生該撓曲，以高剛性的陶瓷制成叉部。但是，因為在陶瓷部件的制造中有必要進行燒制工序，所以為了利用陶瓷制造大型的叉部而需要大型的燒制爐。為了解決該問題，在專利文獻1中提出有下述的末端執行器系統(end?effector?assembly)，其包括：升降部；以及與該升降部結合的多個末端執行器，該末端執行器通過與升降部結合的基部、以及與該基部結合的前端部形成。即，在專利文獻1中，叉部的支撐拾取器按照其一半程度的長度而分割為基部與前端部，形成為連接結合兩者的結構，由此，使得作為前端部所使用的陶瓷部件的制造變得容易。

然而，作為叉部的支撐拾取器的材質，使用CFRP(Carbon?FiberReinf?Orced?Plastics：碳纖維強化塑料)。輕量并且高剛性的CFRP作為支撐拾取器的材質具有優良的特性。但是，作為CFRP的缺點，具有下述問題，即，因為是加固碳纖維的復合材料，所以，使得在破損情況下的修理、修復變得困難。此外，對于CFRP而言，還具有下述問題，即，因為碳纖維形成為層結構，所以若受到損傷則碳纖維有可能從該部分剝離，從而導致層結構的碳纖維被破壞，易于成為顆粒產生源。而且，還存在下述問題，即，如果在使用例如由CFRP制的支撐拾取器的搬送途中玻璃基板發生破損，導致支撐拾取器受到損傷，則微小的玻璃片有可能從此處進入到碳纖維之間使得除去變得困難，成為新的顆粒產生源。

根據以上列舉的問題，對于利用高價的CFRP材料形成的支撐拾取器，若其一部分發生破損，則必須交換支撐拾取器的整體。

專利文獻1：日本特開2006-41496號公報

隨著叉部的大型化，對于在基板處理系統內移動叉部時的控制，與現有技術中使用小型叉部的情況相比變得格外困難。因此，支撐拾取器的前端與構成基板處理系統的腔室壁等的系統構成部件發生接觸而導致損傷的情況的概率與現有技術中的相比進一步增加。當使用CFRP作為支撐拾取器的材質時，無論如何也不能避免以某種程度的頻率與系統構成部件發生接觸。

發明內容

本發明是鑒于上述情況而提出的，其目的在于：即便當具有用于支撐基板的支撐部件的基板保持件與系統構成部件發生接觸時，也能夠極力地避免支撐部件發生損傷。

本發明的一種基板保持件，其具有基部以及互相隔開間隔連接在所述基部上的多個支撐部件，在所述多個支撐部件上保持基板，該基板保持件的特征在于：所述支撐部件包括：主體；以及用于保護該主體的前端的能夠裝卸的保護部件。

在本發明的基板保持件中，所述主體可以形成為中空的筒形狀。本發明的基板保持件，可以由所述保護部件封塞所述主體的前端。此外，所述保護部件可以具有插入到所述主體的內部的凸部。

此外，在本發明的基板保持件中，所述保護部件可以具有覆蓋所述主體的前端附近的周圍的覆蓋部。此外，在本發明的基板保持件中，所述主體可以由CFRP構成。

此外，在本發明的基板保持件中，所述保護部件可以由金屬或者楊氏模量為1MPa以上10GPa以下的高分子材料構成。此時，所述金屬可以為不銹鋼或者鋁，所述高分子材料可以為氟橡膠、聚四氟乙烯樹脂或者尼龍樹脂。