[發明專利]用于多晶硅錠制備的組合坩堝無效

申請號：	201110370450.6	申請日：	2011-11-21
公開（公告）號：	CN103122479A	公開（公告）日：	2013-05-29
發明（設計）人：	李川川	申請（專利權）人：	常州市萬陽光伏有限公司
主分類號：	C30B28/06	分類號：	C30B28/06;C30B29/06
代理公司：	蘇州廣正知識產權代理有限公司 32234	代理人：	張利強
地址：	213115 江蘇省常州***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	用于多晶制備組合坩堝
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【權利要求書】：

1.一種用于多晶硅錠制備的組合坩堝，其特征在于，包括：石英坩堝和設置在石英坩堝外側的石墨坩堝，所述石英坩堝包括石英坩堝基體、中間過渡層、第二中間層和內表面涂層，所述石英坩堝基體內壁設置有中間過渡層，所述中間過渡層上設有第二中間層，所述第二中間層上設有內表面涂層，所述石墨坩堝包括底板和設置在底板四周的側板，所述底板具有網狀結構。

2.根據權利要求1所述的用于多晶硅錠制備的組合坩堝，其特征在于，所述中間過渡層的材料是硅，厚度為300～600μm之間。

3.根據權利要求1所述的用于多晶硅錠制備的組合坩堝，其特征在于，所述第二中間層的材料是二氧化硅和氮化硅，厚度為50～100μm之間。

4.根據權利要求1所述的用于多晶硅錠制備的組合坩堝，其特征在于，所述內表面涂層的材料是氮化硅、二氧化硅和硅，厚度為300～600μm之間。

5.根據權利要求1所述的用于多晶硅錠制備的組合坩堝，其特征在于，所述網狀結構至少為兩層。

6.根據權利要求1所述的用于多晶硅錠制備的組合坩堝，其特征在于，所述網狀結構的構造是蜂窩形。

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