[發明專利]高低溫箱內被測件變形量的高精度測量系統

有效

• 申請號: 201110370274.6
• 申請日: 2011-11-18
• 公開（公告）號: CN102410818A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發明（設計）人: 彭廷紅;孫建輝;單曉杭;鄭欣榮;丁少杰
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 杭州天正專利事務所有限公司 33201
• 代理人: 王兵;王利強

1.一種高低溫箱內被測件變形量的高精度測量系統，其特征在于：所述測量系統包括細繩、三維氣浮組件和三個方向的激光位移光電編碼測量模塊，所述三維氣浮組件包括固定板、x向氣浮單元、y向氣浮單元和z向氣浮單元，各個氣浮單元均包括氣浮軸和氣浮套，所述三個方向的激光位移光電編碼測量模塊分別安裝在x向氣浮單元、y向氣浮單元和z向氣浮單元上；x向氣浮軸安裝在固定板上，x向氣浮套可滑動地安裝在x向氣浮軸上，x向氣浮套與x向氣浮套連接板固定連接，x向氣浮套連接板與y向安裝板連接，y向氣浮軸安裝在y向安裝板上，y向氣浮套可滑動地安裝在y向氣浮軸上，y向氣浮套與y向氣浮套連接板固定連接，y向氣浮套連接板與z向固定擋板連接，所述z向氣浮軸可滑動地安裝在所述z向氣浮套上，z向氣浮軸安裝在z向氣浮軸連接板上，z向氣浮套安裝在z向固定擋板上；

所述細繩的上端與被測件連接，所述細繩的下端與所述三維氣浮組件的z向氣浮軸連接。

2.如權利要求1所述的高低溫箱內被測件變形量的高精度測量系統，其特征在于：所述激光位移光電編碼測量模塊包含標識面和CCD激光位移傳感器，所述CCD激光位移傳感器與所述標識面正對。

3.如權利要求2所述的高低溫箱內被測件變形量的高精度測量系統，其特征在于：z向標識面安裝在z向氣浮軸連接板上，y向標識面安裝在z向固定擋板上，x向標識面安裝在y向安裝板上；三個方向的CCD激光位移傳感器均安裝在安裝支架上。

4.如權利要求1～3之一所述的高低溫箱內被測件變形量的高精度測量系統，其特征在于：各個氣浮單元均包括兩根氣浮軸和兩個氣浮套，所述兩根氣浮軸平行設置。