[發明專利]高低溫箱內機械裝置三維微小變形的高精度測量系統

有效

• 申請號: 201110370271.2
• 申請日: 2011-11-18
• 公開（公告）號: CN102435515A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 單曉杭;孫建輝;彭廷紅;鄭欣榮
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: G01N3/40
• 分類號: G01N3/40;G01N3/02;G01B11/16
• 代理公司: 杭州天正專利事務所有限公司 33201
• 代理人: 王兵;王利強

1.一種高低溫箱內機械裝置三維微小變形的高精度測量系統，其特征在于：所述測量系統包括細繩、三維氣浮組件和三個方向的光電位移傳感裝置，所述三維氣浮組件包括固定板、x向氣浮單元、y向氣浮單元和z向氣浮單元，各個氣浮單元均包括氣浮軸和氣浮套，所述三個方向的光電位移傳感裝置分別安裝在x向氣浮單元、y向氣浮單元和z向氣浮單元上，用以測量x向、y向和z向位移；x向氣浮軸安裝在固定板上，x向氣浮套可滑動地安裝在x向氣浮軸上，所述x向氣浮套與y向氣浮軸固定連接，y向氣浮套可滑動地安裝在y向氣浮軸上，所述y向氣浮套與z向氣浮套固定連接，所述z向氣浮軸可滑動地安裝在所述z向氣浮套上；

所述細繩的上端與被測件連接，所述細繩的下端與所述三維氣浮組件的z向氣浮軸連接。

2.如權利要求1所述的高低溫箱內機械裝置三維微小變形的高精度測量系統，其特征在于：x向光電位移傳感裝置由光柵尺和讀數頭組成；y向光電位移傳感裝置包括y向光電轉化發射器和y向接收器，z向光電轉化發射裝置及接收裝置包括一級z向光電轉化發射器、一級z向光電轉化接收器、二級z向光電轉化發射器和二級z向光電轉化接收器，其中，所述光電轉化發射器由光柵尺和讀數頭組成，采用增量式光電編碼器，所述接收器由兩組光電發射和接收管構成。

3.如權利要求2所述的高低溫箱內機械裝置三維微小變形的高精度測量系統，其特征在于：所述x向氣浮套與x向氣浮套連接板固定連接，所述x向氣浮套連接板與y向安裝板固定連接，所述y向氣浮軸安裝在所述y向安裝板上，所述y向氣浮套與y向氣浮套連接板固定連接，所述y向氣浮套連接板與z向固定擋板連接，所述z向氣浮套通過z向氣浮套固定板安裝在所述z向固定擋板上，所述z向固定擋板上安裝z向氣浮軸連接板，所述z向氣浮軸安裝在所述z向氣浮軸連接板上，所述z向氣浮軸的上端安裝與細繩連接的連接頭；

所述一級z向光電轉換發射器安裝在z向固定擋板上，一級z向光電轉換接收器和二級z向光電轉換發射器均安裝y向安裝板上，二級z向光電轉換接收器安裝在固定板上；

y向光電轉換發射器安裝在y向安裝板上，y向接收器安裝在固定板上；

x向光電位移傳感裝置安裝在固定板上。

4.如權利要求1～3之一所述的高低溫箱內機械裝置三維微小變形的高精度測量系統，其特征在于：各個氣浮單元均包括兩根氣浮軸和兩個氣浮套，所述兩根氣浮軸平行設置。