[發明專利]一種用于真空結晶爐保溫組件的材料的生產方法

無效

• 申請號: 201110369854.3
• 申請日: 2011-11-21
• 公開（公告）號: CN103121104A
• 公開（公告）日: 2013-05-29
• 發明（設計）人: 高殿斌
• 申請（專利權）人: 高殿斌
• 主分類號: B22F3/16
• 分類號: B22F3/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本發明涉及一種用于真空結晶爐中保溫組件的材料的生產方法。

背景技術：

現有的真空結晶爐的保溫組件是由鉬制板材或石墨氈制成的，由鉬制板材制成的保溫組件的缺點是：鉬板加熱后，具有因再結晶晶粒變粗和脆化的特點，常發生表面起泡、起層現象，而且極易破碎，無法維修，另外，真空結晶爐工作時爐內的溫度在2000℃以上，而鉬在1800℃時，會產生強烈的蒸發(升華)現象，不僅對結晶爐內產生污染，影響晶體質量，還會減短保溫組件的使用周期。由石墨氈制作的保溫組件的缺點是：在高溫、高真空狀態下石墨易揮發，所產生的游離態碳分子與結晶爐內的鎢、鉬坩堝及發熱體發生化學反應，生成碳化物，會縮短真空結晶爐的使用壽命。

發明內容：

本發明所要解決的技術問題是提供一種用于真空結晶爐保溫組件的材料的生產方法，按照該方法生產出的材料制成的保溫組件不會對真空結晶爐內產生污染，不影響晶體質量，并能延長保溫組件和真空結晶爐的使用壽命。

上述目的是這樣實現的：將生產態粒度為2.55um，研磨態粒度為2.3um的W顆粒和生產態粒度為2.65um，研磨態粒度為2.4um的Mo顆粒混合，其中W和Mo的重量相等，混合后再加入占W顆粒和Mo顆粒總重量0.2％-0.5％的CeO，和占W顆粒和Mo顆粒總重量0.05％-0.1％的ZrH₂，混合均勻后經冷等靜壓機壓制成型，最后在溫度為2350℃以上的高溫真空燒結爐(真空度＜1×10^-2Pa)內燒結。

本發明的優點是：由于按本方法生產的材料中含有占總重量近50％的W和50％的Mo，所以其與純鉬板相比可大幅度提高再結晶的溫度，在溫度2200℃、真空度小于1×10^-2Pa的條件下，重復使用仍能保持較高的強度；與純鎢相比，用冷等靜壓機壓制的型坯強度高，有利于脫模和精整成型工序的完成，燒結后制品的韌性好，有利于進行機械加工。另外CeO主要起細化晶粒作用，能提高制品的耐熔融性和抗蠕變性能，加入ZrH₂是利用其在真空狀態下低溫脫氫的特性，能有效地去除鎢粉和鉬粉中的含氧雜質，形成的ZrO₂同樣具有細化晶粒和抗蠕變性能。所以用本方法生產的材料制成的真空結晶爐中的保溫組件不會對真空結晶爐內產生污染，不影響晶體質量，能延長保溫組件和真空結晶爐的使用壽命。

具體實施方式：

將生產態粒度為2.55um，研磨態粒度為2.3um的W顆粒和生產態粒度為2.65um，研磨態粒度為2.4um的Mo顆粒混合，其中W和Mo的重量相等，混合后再加入占W顆粒和Mo顆粒總重量0.2％或0.3％或0.5％的CeO，和占W顆粒和Mo顆粒總重量0.05％或0.07％或0.1％的ZrH₂，混合均勻后經冷等靜壓機壓制成型，最后在溫度為2350℃以上的高溫真空燒結爐(真空度＜1×10^-2Pa)內燒結。