[發明專利]一種動鏡軸向微調裝置

無效

• 申請號: 201110369197.2
• 申請日: 2011-11-18
• 公開（公告）號: CN102565983A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發明（設計）人: 邢薇;趙立新;胡松;王建;楊勇
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 梁愛榮

技術領域

本發明涉及一種光刻機中物鏡的安裝與調整，也可用于企業生產中對工件的安裝檢測與調試。

背景技術

在投影光刻機中當物鏡裝調完成后，由于在制造過程中不可避免的出現加工誤差以及裝配過程中產生的裝配誤差，會造成物鏡系統成像質量下降，偏離理論值，為改善成像質量，需要對物鏡中某些特定鏡片進行Z方向上的調節，以校正裝配誤差，提高成像質量。

發明內容

為了解決的技術問題，本發明的目的是提供一種動鏡軸向微調裝置。

為了實現所述目的，本發明提供的動鏡軸向微調裝置，解決其技術問題所采用的技術方案包括：第一組柔性鉸鏈、第二組柔性鉸鏈、第三組柔性鉸鏈、動鏡框、外圓柱面、第一安裝槽、第二安裝槽和第三安裝槽，采用第一組柔性鉸鏈、第二組柔性鉸鏈和第三組柔性鉸鏈結構相同且相互獨立的柔性鉸鏈作為動鏡框的支撐架；在動鏡框的外圓柱面上等間距開有第一安裝槽、第二安裝槽、第三安裝槽，并將第一組柔性鉸鏈、第二組柔性鉸鏈、第三組柔性鉸鏈嵌入固定在第一安裝槽、第二安裝槽、第三安裝槽內，利用杠桿原理，通過柔性鉸鏈進行內摩擦傳遞，對動鏡進行Z方向上的傾斜調整，用以校正裝配誤差。

本發明的原理是：本裝置運用了杠桿原理，使動鏡在調整時，通過柔性鉸鏈進行內摩擦傳遞、靈敏度高、沒有無效運動干預，控制精度高。

本發明的有益效果是：在投影光刻機中當物鏡裝調完成后，由于在制造過程中不可避免的出現加工誤差以及裝配過程中產生的裝配誤差，會造成物鏡系統成像質量下降，偏離理論值，為改善成像質量，需要對物鏡中某些特定鏡片進行Z方向上的傾斜調整，本發明的裝置設計了三組結構相同且相互獨立的柔性鉸鏈結構作為動鏡框的支撐架，可對動鏡進行Z方向上的傾斜調整，以校正裝配誤差。本發明使得動鏡在安裝調整過程中不會因外力的作用而產生應力變形，提高了物鏡對軸心的裝調精度，保證了物鏡的光軸與硅片面垂直，并且，調整完成后的柔性機構具有良好的剛性和熱穩定性，保證像質和焦面穩定，保證了光刻質量。該裝置在調整動鏡位置時，動鏡不受內應力影響，沒有無效運動干預，傳遞效率高；而且，調整完成后柔性鉸鏈的剛性和熱穩定性非常好，保證了像質和焦面的穩定。

附圖說明

圖1是本發明的裝置的結構圖；

圖2是本發明一個柔性鉸鏈結構圖；

圖3是本發明一個柔性鉸鏈的主視圖；

圖4是本發明一個柔性鉸鏈的俯視圖；

圖5是本發明基座主視圖；

圖6是本發明基座俯視圖；

圖7是本發明壓電陶瓷驅動器主視圖；

圖8是本發明壓電陶瓷驅動器俯視圖；

圖9是本發明動鏡框俯視圖；

圖10是本發明動鏡框右側視圖；

圖11是本發明動鏡框剖視圖。

圖中示出元件標號說明

第一柔性鉸鏈1，壓電陶瓷驅動器2，壓電陶瓷3，

基座4，????????沉孔5，??????????沉孔6，

通孔7，????????動鏡框8，????????臺階9，

動鏡10，???????圓孔11，?????????底端12，

上端13，???????第一連接螺釘20，?第二連接螺釘21，

前支板22，?????后支板23，???????第一固定螺釘30，

第二固定螺釘31，???第三固定螺釘32，???第四固定螺釘33，

第一鎖緊螺釘40，???第二鎖緊螺釘41，???第三鎖緊螺釘42，

第四鎖緊螺釘43，???外圓柱面50，???????第一安裝槽51，

第二安裝槽52，?????第三安裝槽53，?????第一組柔性鉸鏈101，

第二組柔性鉸鏈201，第三組柔性鉸鏈301，支點C的中心線L1，

支點A，????????????下端B，????????????支點C。

具體實施方式

為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚明白，以下結合具體實施例，并參照附圖，對本發明進一步詳細說明。