[發明專利]用于容納基板的箱盒有效
申請號: | 201110367744.3 | 申請日: | 2011-11-18 |
公開(公告)號: | CN102867766A | 公開(公告)日: | 2013-01-09 |
發明(設計)人: | 南義雄;秦光杓;趙相圭 | 申請(專利權)人: | 三星顯示有限公司 |
主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204 | 代理人: | 余朦;王艷春 |
地址: | 韓國*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 用于 容納 | ||
1.一種用于容納基板的箱盒,包括:
箱盒本體,用于容納多個基板;
門,使所述箱盒本體選擇性地密封;
銷單元,形成于所述門上,并且與所述箱盒本體銷結合;以及
磁性部,根據所述銷單元的移動結合所述箱盒本體與所述門。
2.根據權利要求1所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述箱盒本體通過多個框架的互相連接而形成箱型骨架結構,在所述框架上結合有蓋板。
3.根據權利要求2所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
在所述箱盒本體的內部排列有對以垂直方向層疊的多個基板予以支撐的多個支撐部,所述支撐部從所述箱盒本體的后方向箱盒本體前方的開放區側橫穿內部空間而得以延伸,
所述箱盒本體的相對的兩個側部設置有安裝部,所述安裝部支撐所述基板的左右邊緣,并且從多個框架向所述箱盒本體的內部空間突出。
4.根據權利要求3所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
在所述箱盒本體的后方,支撐所述基板的后方邊緣的后阻擋物與所述框架連接。
5.根據權利要求1所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
沿著與所述箱盒本體的開放區相對的門的邊緣還形成有密封部件。
6.根據權利要求1所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
沿著所述箱盒本體的開放區的周圍還形成有密封部件。
7.根據權利要求1所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,所述銷單元包括:
移動部,具有向水平方向或者垂直方向移動的移動柄;
齒輪部,與所述移動部結合;
驅動杠桿,使所述齒輪部轉動;以及
銷導向部,與所述移動部結合,并且形成有安全銷。
8.根據權利要求7所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述移動柄的下部形成有與所述齒輪部嚙合的齒條。
9.根據權利要求7所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述驅動杠桿在同軸上與所述齒輪部結合。
10.根據權利要求7所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,所述銷導向部包括:
銷柄,形成有銷導向孔;
導向銷,插入到所述銷導向孔而進行移動;以及
安全銷,與所述導向銷結合,并且與形成于所述箱盒本體的銷孔選擇性地結合并進行移動。
11.根據權利要求10所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述銷柄的一端部以在垂直方向重疊的方式與所述移動柄的一端部結合。
12.根據權利要求10所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述銷導向孔被形成為沿著所述銷柄的長度厚度貫通所述銷柄,并且被形成為相對于所述銷柄的水平方向是傾斜的。
13.根據權利要求12所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述導向銷插入到所述銷導向孔中,使得其位置根據所述銷柄的移動而沿著所述銷導向孔傾斜的方向發生變化。
14.根據權利要求13所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述安全銷從所述銷柄的上部貫通所述銷柄,從而與所述導向銷結合。
15.根據權利要求14所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述安全銷貫通所述銷柄的部分設置有圍繞所述安全銷的安全銷向導。
16.根據權利要求10所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
與所述安全銷向所述銷孔移動的部分相對應的框架上,還設置有引導所述安全銷的移動的滑動導向件,
所述滑動導向件形成有提供所述銷柄的移動通道的滑動導孔。
17.根據權利要求16所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
形成有所述滑動導孔的滑動導向件的內壁設置有O型環。
18.根據權利要求10所述的用于容納基板的箱盒,其特征在于,
所述銷孔形成于與所述箱盒本體的框架結合的門導向塊中。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造