[發(fā)明專(zhuān)利]能量、動(dòng)量二維解析的高分辨電子能量損失譜儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110366653.8
• 申請(qǐng)日: 2011-11-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103123325A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹彥偉;楊芳;郭沁林;郭建東
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/00
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/00
• 代理公司: 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

1.一種能量、動(dòng)量二維解析的高分辨電子能量損失譜儀包括：

低能電子源單元，發(fā)射低能單色電子束；

角分辨模式出射透鏡單元，將所述低能電子源單元出射的電子束聚焦為發(fā)散角小于0.5°的低能入射電子束，并將該低能入射電子束照射至樣品；

角分辨電子能量分析單元，接收由所述樣品散射的非彈性散射電子，并對(duì)非彈性散射電子的電子能量和動(dòng)量進(jìn)行二維解析；

信號(hào)采集和處理單元，采集經(jīng)過(guò)所述角分辨電子能量分析單元解析的信號(hào)并進(jìn)行處理，從而得到損失譜I(E，k)。

2.如權(quán)利要求1所述的能量、動(dòng)量二維解析的高分辨電子能量損失譜儀，其特征在于，所述出射透鏡單元包括：間隔適當(dāng)間距依次并排設(shè)置的第一電極、第二電極和第三電極，所述第一電極上開(kāi)設(shè)有入射電子束通過(guò)的圓孔，所述第二電極上開(kāi)設(shè)有入射電子束通過(guò)的矩形通孔，所述第三電極上開(kāi)設(shè)有入射電子束通過(guò)的矩形通孔。

3.如權(quán)利要求2所述的能量、動(dòng)量二維解析的高分辨電子能量損失譜儀，其特征在于，所述第一電極、第二電極和第三電極為具有適當(dāng)厚度的高純無(wú)氧銅片，在所述高純無(wú)氧銅片上涂覆有一層石墨。

4.如權(quán)利要求3的能量、動(dòng)量二維解析的高分辨電子能量損失譜儀，其特征在于，所述第一電極的厚度為3～5mm，所述第二電極的厚度為1～3mm，所述第三電極的厚度為6～10mm。

5.如權(quán)利要求4所述的能量、動(dòng)量二維解析的高分辨電子能量損失譜儀，其特征在于，在所述第一電極上開(kāi)設(shè)的圓孔的直徑為12～18mm，在所述第二電極上開(kāi)設(shè)的矩形通孔的長(zhǎng)寬尺寸20～28mm×5～15mm；在所述第三電極上開(kāi)設(shè)的矩形通孔的長(zhǎng)寬尺寸20～28mm×5～15mm。