[發明專利]一種基于激光束主動掃描的光學元件表面疵病檢測系統有效
| 申請號： | 201110365740.1 | 申請日： | 2011-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN102507596A | 公開（公告）日： | 2012-06-20 |
| 發明（設計）人： | 程曉鋒;王洪彬;徐旭;葉亞云;秦朗;苗心向;賀少勃;呂海兵;賀群;馬志強;趙龍彪;袁曉東;鄭萬國 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/94 |
| 代理公司： | 中國工程物理研究院專利中心 51210 | 代理人： | 翟長明;韓志英 |
| 地址： | 621900 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 激光束 主動 掃描 光學 元件 表面 檢測 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于激光束主動掃描的光學元件表面疵病檢測系統，其特征是：所述的檢測系統含有激光器（1）、擴束器（2）、變焦透鏡（3）、導向鏡（4）、光電探頭Ⅰ（71）、光電探頭Ⅱ（72）以及計算機（8）和控制器（9）；其中，激光器（1）、擴束器（2）、變焦透鏡（3）、導向鏡（4）依次排列；激光器（1）、擴束器（2）、變焦透鏡（3）、導向鏡（4）、數個光電探頭以及被監測的光學元件（5）之間的位置相對固定，光電探頭設置在光學元件通光區域外；光電探頭分別外接計算機（8）；控制器（9）與計算機（8）連接，控制器（9）同時還連接導向鏡（4）和變焦透鏡（3）；激光束（10）通過導向鏡（4）的二維轉動實現對光學元件（5）的主動掃描，并在掃描過程中實時進行自動對焦、焦點始終落在光學元件（5）的表面上；激光器發出激光束（10）、經擴束器（2）放大為一定口徑的平行光束、再經變焦透鏡（3）聚焦，最后經導向鏡（4）導向后激光束（10）射向被監測的光學元件（5）；控制器（9）控制導向鏡（4）做二維旋轉并將激光束（10）的焦點調整到表面疵病（6）所在位置。
2.根據權利要求1所述的檢測系統，其特征是：所述的光電探頭的數目設置為2～24個。
3.根據權利要求1所述的檢測系統，其特征是：所述的光電探頭為光電探測器。
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