[發明專利]用于連續制造金屬薄膜太陽能電池的淀積設備及方法

無效

• 申請號: 201110365540.6
• 申請日: 2011-11-17
• 公開（公告）號: CN102424958A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發明（設計）人: 陳聰茂
• 申請（專利權）人: 陳聰茂
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/30;H01L31/18
• 代理公司: 上海申蒙商標專利代理有限公司 31214
• 代理人: 徐小蓉

1.一種用于連續制造金屬薄膜砷化鎵太陽能電池的有機金屬氣體氣相淀積設備，其特征在于：所述設備包括一個大型真空腔室及其附屬真空排氣裝置；隔絕在所述真空腔室里至少有如下裝置：連續性金屬薄膜自動出料展料系統及收料系統；淀積反應區；金屬氣體淀積反應器，及其用于均勻噴灑有機金屬氣體的噴口組合；基材加熱平臺；其中所述淀積反應區位于所述出料展料系統和收料系統之間，所述金屬氣體淀積反應器及其用于噴灑有機金屬氣體的噴口組合位于所述淀積反應區的上方，所述的淀積反應區的下方設置所述加熱平臺。

2.根據權利要求1所述的一種用于連續制造金屬薄膜砷化鎵太陽能電池的有機金屬氣體氣相淀積設備，其特征在于所述的金屬氣體淀積反應器包括至少二套N型有機金屬氣體淀積反應器和至少二套P型有機金屬氣體淀積反應器，各套所述金屬氣體混合反應器在所述真空腔室內的所述淀積反應區的上方依次呈N-P-N-P-N…型依次交錯縱向、間隔分布。

3.根據權利要求2所述的一種用于連續制造金屬薄膜砷化鎵太陽能電池的有機金屬氣體氣相淀積設備，其特征在于所述的金屬氣體淀積反應器包括三套N型有機金屬氣體淀積反應器和兩套P型有機金屬氣體淀積反應器，五套所述金屬氣體混合反應器在所述真空腔室內的所述淀積反應區的上方依次呈N-P-N-P-N型縱向、間隔分布。

4.根據權利要求1所述的一種用于連續制造金屬薄膜砷化鎵太陽能電池的有機金屬氣體氣相淀積設備，其特征在于靠近所述收料系統處的所述真空腔室外壁設置有觀測窗口，并在所述的長型真空腔室內設置有真空計和溫度量測系統用以量測并控制加熱平臺溫度。

5.一種用于連續制造金屬薄膜砷化鎵太陽能電池的有機金屬氣體氣相淀積方法，涉及權利要求1-4任一項所述設備，其特征在于，所述方法至少包括下列步驟：所述連續性金屬薄膜自動出料展料系統以可控制的速度緩緩釋放展開出金屬薄膜,?金屬薄膜被拉引經過所述淀積反應區，所述金屬氣體淀積反應器及其用于噴灑有機金屬氣體的噴口組合將混合的有機金屬氣體均勻噴灑至金屬薄膜表面，有機金屬氣體淀積并反應成砷化鎵材料層，金屬薄膜加熱平臺以直接接觸的方式加熱金屬薄膜，被加熱至一個設定的溫度，以便促成有機金屬氣體淀積并反應，經過連續幾次反應過后已成長數層異電性界面的金屬薄膜被所述收料系統卷收起來。

6.根據權利要求5所述的一種用于連續制造金屬薄膜砷化鎵太陽能電池的有機金屬氣體氣相淀積方法，其特征在于所述出料展料系統展開金屬薄膜的速度與收料系統卷收金屬薄膜的速度匹配，由此速度來控制成長太陽能電池之厚度。